स्पटरिंग कोटिंग मशीन की प्रक्रिया प्रवाह

1. बमबारी सफाई सब्सट्रेट

1.1) स्पटरिंग कोटिंग मशीन सब्सट्रेट को साफ करने के लिए ग्लो डिस्चार्ज का उपयोग करती है। यानी, आर्गन गैस को चैम्बर में चार्ज करें, डिस्चार्ज वोल्टेज लगभग 1000V है, बिजली की आपूर्ति चालू करने के बाद, एक ग्लो डिस्चार्ज उत्पन्न होता है, और सब्सट्रेट को आर्गन आयन बमबारी द्वारा साफ किया जाता है।

1.2) औद्योगिक रूप से उच्च-अंत वाले आभूषणों का उत्पादन करने वाली स्पटरिंग कोटिंग मशीनों में, छोटे चाप स्रोतों द्वारा उत्सर्जित टाइटेनियम आयनों का उपयोग ज्यादातर सफाई के लिए किया जाता है। स्पटरिंग कोटिंग मशीन एक छोटे चाप स्रोत से सुसज्जित है, और छोटे चाप स्रोत निर्वहन द्वारा उत्पन्न चाप प्लाज्मा में टाइटेनियम आयन धारा का उपयोग सब्सट्रेट पर बमबारी और सफाई के लिए किया जाता है।

2. टाइटेनियम नाइट्राइड कोटिंग

टाइटेनियम नाइट्राइड पतली फिल्मों को जमा करते समय, स्पटरिंग के लिए लक्ष्य सामग्री टाइटेनियम लक्ष्य है। लक्ष्य सामग्री स्पटरिंग बिजली आपूर्ति के नकारात्मक इलेक्ट्रोड से जुड़ी हुई है, और लक्ष्य वोल्टेज 400 ~ 500V है; आर्गन प्रवाह तय है, और नियंत्रण वैक्यूम (3 ~ 8) x10 है^-1पीए. सब्सट्रेट 100 ~ 200V के वोल्टेज के साथ पूर्वाग्रह बिजली की आपूर्ति के नकारात्मक इलेक्ट्रोड से जुड़ा हुआ है।

स्पटरिंग टाइटेनियम लक्ष्य की विद्युत आपूर्ति चालू करने के बाद, एक चमक निर्वहन उत्पन्न होता है, और उच्च ऊर्जा आर्गन आयन स्पटरिंग लक्ष्य पर बमबारी करते हैं, जिससे लक्ष्य से टाइटेनियम परमाणु स्पटरिंग हो जाते हैं।

प्रतिक्रिया गैस नाइट्रोजन को पेश किया जाता है, और टाइटेनियम परमाणुओं और नाइट्रोजन को कोटिंग कक्ष में टाइटेनियम आयनों और नाइट्रोजन आयनों में आयनित किया जाता है। सब्सट्रेट पर लागू नकारात्मक पूर्वाग्रह विद्युत क्षेत्र के आकर्षण के तहत, टाइटेनियम आयन और नाइट्रोजन आयन रासायनिक प्रतिक्रिया और जमाव के लिए सब्सट्रेट की सतह पर तेजी से बढ़ते हैं और टाइटेनियम नाइट्राइड फिल्म परत बनाते हैं।

3. सब्सट्रेट बाहर निकालें

पूर्व निर्धारित फिल्म मोटाई तक पहुंचने के बाद, स्पटरिंग पावर सप्लाई, सब्सट्रेट बायस पावर सप्लाई और एयर सोर्स को बंद कर दें। सब्सट्रेट का तापमान 120 ℃ से कम होने के बाद, कोटिंग चैंबर को हवा से भरें और सब्सट्रेट को बाहर निकालें।

यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैमैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन निर्माता- गुआंग्डोंग झेनहुआ।