1. બોમ્બાર્ડમેન્ટ સફાઈ સબસ્ટ્રેટ
૧.૧) સ્પટરિંગ કોટિંગ મશીન સબસ્ટ્રેટને સાફ કરવા માટે ગ્લો ડિસ્ચાર્જનો ઉપયોગ કરે છે. એટલે કે, આર્ગોન ગેસને ચેમ્બરમાં ચાર્જ કરો, ડિસ્ચાર્જ વોલ્ટેજ લગભગ 1000V છે. પાવર સપ્લાય ચાલુ કર્યા પછી, ગ્લો ડિસ્ચાર્જ ઉત્પન્ન થાય છે, અને સબસ્ટ્રેટને આર્ગોન આયન બોમ્બાર્ડમેન્ટ દ્વારા સાફ કરવામાં આવે છે.
૧.૨) ઔદ્યોગિક રીતે ઉચ્ચ કક્ષાના આભૂષણોનું ઉત્પાદન કરતા સ્પટરિંગ કોટિંગ મશીનોમાં, નાના ચાપ સ્ત્રોતો દ્વારા ઉત્સર્જિત ટાઇટેનિયમ આયનોનો ઉપયોગ મોટે ભાગે સફાઈ માટે થાય છે. સ્પટરિંગ કોટિંગ મશીન નાના ચાપ સ્ત્રોતથી સજ્જ છે, અને નાના ચાપ સ્ત્રોત સ્રાવ દ્વારા ઉત્પન્ન થતા ચાપ પ્લાઝ્મામાં ટાઇટેનિયમ આયન પ્રવાહનો ઉપયોગ સબસ્ટ્રેટને બોમ્બમારો અને સાફ કરવા માટે થાય છે.
2. ટાઇટેનિયમ નાઇટ્રાઇડ કોટિંગ
ટાઇટેનિયમ નાઇટ્રાઇડ પાતળી ફિલ્મો જમા કરતી વખતે, સ્પટરિંગ માટે લક્ષ્ય સામગ્રી ટાઇટેનિયમ લક્ષ્ય છે. લક્ષ્ય સામગ્રી સ્પટરિંગ પાવર સપ્લાયના નકારાત્મક ઇલેક્ટ્રોડ સાથે જોડાયેલ છે, અને લક્ષ્ય વોલ્ટેજ 400~500V છે; આર્ગોન ફ્લક્સ નિશ્ચિત છે, અને નિયંત્રણ શૂન્યાવકાશ (3~8) x10 છે.-1PA. સબસ્ટ્રેટ બાયસ પાવર સપ્લાયના નેગેટિવ ઇલેક્ટ્રોડ સાથે જોડાયેલ છે, જેનો વોલ્ટેજ 100~200V છે.
સ્પટરિંગ ટાઇટેનિયમ લક્ષ્યનો પાવર સપ્લાય ચાલુ કર્યા પછી, ગ્લો ડિસ્ચાર્જ ઉત્પન્ન થાય છે, અને ઉચ્ચ-ઊર્જાવાળા આર્ગોન આયનો સ્પટરિંગ લક્ષ્ય પર બોમ્બમારો કરે છે, લક્ષ્યમાંથી ટાઇટેનિયમ પરમાણુઓને સ્પટર કરે છે.
પ્રતિક્રિયા ગેસ નાઇટ્રોજન દાખલ કરવામાં આવે છે, અને ટાઇટેનિયમ અણુઓ અને નાઇટ્રોજનને કોટિંગ ચેમ્બરમાં ટાઇટેનિયમ આયનો અને નાઇટ્રોજન આયનોમાં આયનીકરણ કરવામાં આવે છે. સબસ્ટ્રેટ પર લાગુ નકારાત્મક પૂર્વગ્રહ ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્રના આકર્ષણ હેઠળ, ટાઇટેનિયમ આયનો અને નાઇટ્રોજન આયનો રાસાયણિક પ્રતિક્રિયા અને જમાવટ માટે સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર વેગ આપે છે જેથી ટાઇટેનિયમ નાઇટ્રાઇડ ફિલ્મ સ્તર બને.
3. સબસ્ટ્રેટને બહાર કાઢો
પૂર્વનિર્ધારિત ફિલ્મ જાડાઈ પર પહોંચ્યા પછી, સ્પટરિંગ પાવર સપ્લાય, સબસ્ટ્રેટ બાયસ પાવર સપ્લાય અને હવા સ્ત્રોત બંધ કરો. સબસ્ટ્રેટનું તાપમાન 120 ℃ કરતા ઓછું થયા પછી, કોટિંગ ચેમ્બરને હવાથી ભરો અને સબસ્ટ્રેટને બહાર કાઢો.
આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેમેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદક- ગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ.
પોસ્ટ સમય: એપ્રિલ-૦૭-૨૦૨૩