1. Máquina de revestimento de ións de cátodo oco e máquina de revestimento de ións de arco de fío quente
A pistola de cátodo oco e a pistola de arco de fío quente están instaladas na parte superior da cámara de revestimento, o ánodo está instalado na parte inferior e dúas bobinas electromagnéticas están instaladas na parte superior e inferior da periferia da cámara de revestimento. Os electróns da luz de arco flúen de arriba a abaixo para realizar un movemento en liña espiral.
2. Imán permanente máis control electromagnético da pequena fonte de arco de cátodo circular
A bobina electromagnética acelera o punto do arco para que realice un movemento rotatorio na circunferencia do obxectivo, o que reduce o tempo de residencia do punto do arco na superficie do obxectivo, diminúe a área da masa fundida e refina a organización da capa de película.
3. Fonte de arco catódico de control electromagnético dual
A fonte de arco catódico está equipada con dúas bobinas electromagnéticas, o que mellora a velocidade de rotación do fluxo de electróns e refina a organización da capa de película.
4. Magnetrón Ciclotrón PECVD
Dúas bobinas electromagnéticas están instaladas fóra da cámara de revestimento PECVD de corrente continua para facer que os electróns xiren, o que aumenta a probabilidade de colisión entre os electróns e o gas e mellora a taxa de disociación das partículas na capa de película.
5.ECR Microondas PECVD
Na cámara de revestimento exterior, as partes superior e inferior instaladas con dúas bobinas electromagnéticas poden mellorar a taxa de disociación.
6. Descarga de arco eléctrico PECVD
Na cámara de revestimento do equipo PECVD de descarga de arco, a instalación superior e inferior de dúas bobinas electromagnéticas, deposición de película de diamante, o campo electromagnético coaxial pode xirar o fluxo de electróns de arco para estimular a ionización de gas de hidrocarburos.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento ao baleiroGuangdong Zhenhua
Data de publicación: 24 de outubro de 2023