Sruth Pròiseas Inneal Còmhdaich Sputtering

1. Bun-stuth glanadh bomadh

1.1) Bidh inneal còmhdach sputtering a’ cleachdadh sgaoileadh gleansach gus an t-substrate a ghlanadh. ’S e sin ri ràdh, nuair a chuireas tu gas argon a-steach don t-seòmar, bidh bholtadh sgaoilidh timcheall air 1000V. Às dèidh dhut an solar cumhachd a thionndadh air, thèid sgaoileadh gleansach a chruthachadh, agus thèid an t-substrate a ghlanadh le bomadh ian argon.

1.2) Ann an innealan còmhdach spùtaidh a bhios a’ dèanamh sgeadachaidhean àrd-inbhe gu gnìomhachais, thathas a’ cleachdadh ianan titanium a thèid a leigeil ma sgaoil le stòran bogha beaga sa mhòr-chuid airson glanadh. Tha stòr bogha beag aig an inneal còmhdach spùtaidh, agus thathas a’ cleachdadh an t-sruth ian titanium anns a’ phlasma bogha a thèid a chruthachadh leis an sgaoileadh stòr bogha beag gus am bun-stuth a bhomadh agus a ghlanadh.

2. Còmhdach nitride titanium

Nuair a thathar a’ cur filmichean tana titanium nitride a-steach, is e targaid titanium an stuth targaid airson sputtering. Tha an stuth targaid ceangailte ris an electrod àicheil den t-solar cumhachd sputtering, agus tha am bholtaids targaid 400 ~ 500V; Tha an sruth argon stèidhichte, agus tha am falamh smachd (3 ~ 8) x 10^-1PA. Tha an t-substrate ceangailte ris an electrod àicheil den t-solar cumhachd claon, le bholtaids de 100 ~ 200V.

Às dèidh solar cumhachd an targaid titanium sputtering a thionndadh air, thèid sgaoileadh gleansach a chruthachadh, agus bidh ianan argon àrd-lùtha a’ bomadh an targaid sputtering, a’ sputteradh dadaman titanium bhon targaid.

Thèid an gas ath-bhualaidh naitridean a thoirt a-steach, agus thèid na dadaman titanium agus an naitridean a ianachadh gu bhith nan ianan titanium agus ianan naitridean anns an t-seòmar còtaidh. Fo tharraing an achaidh dealain claonaidh àicheil a chuirear air an t-substrate, bidh ianan titanium agus ianan naitridean a’ luathachadh gu uachdar an t-substrate airson ath-bhualadh ceimigeach agus tasgadh gus sreath film titanium nitride a chruthachadh.

3. Thoir a-mach an t-substrate

Às dèidh dhut an tighead film ro-shuidhichte a ruighinn, cuir dheth an solar cumhachd sputtering, solar cumhachd claonadh an t-substrate, agus an stòr adhair. Às dèidh teòthachd an t-substrate a bhith nas ìsle na 120 ℃, lìon an seòmar còmhdach le èadhar agus thoir a-mach an t-substrate.

Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach sputtering magnetron- Guangdong Zhenhua.