Sreabhadh Próisis Meaisín Sciatháin Sputtering

1. Foshraith glantacháin buamadóireachta

1.1) Úsáideann meaisín sciath spútartha urscaoileadh lonrach chun an tsubstráit a ghlanadh. Is é sin le rá, an gás argóin a mhuirearú isteach sa seomra, tá an voltas urscaoilte thart ar 1000V, Tar éis an soláthar cumhachta a chasadh air, gintear urscaoileadh lonrach, agus déantar an tsubstráit a ghlanadh trí bhuamáil ian argóin.

1.2) I meaisíní sciath spútarála a tháirgeann maisiúcháin ardchaighdeáin go tionsclaíoch, is chun críocha glantacháin den chuid is mó a úsáidtear iain tíotáiniam a astaítear ó fhoinsí beaga stua. Tá foinse bheag stua feistithe ar an meaisín sciath spútarála, agus úsáidtear an sruth ian tíotáiniam sa phlasma stua a ghintear ag urscaoileadh an fhoinse stua bhig chun an tsubstráit a bhuamáil agus a ghlanadh.

2. Sciath níotráite tíotáiniam

Agus scannáin tanaí níotráite tíotáiniam á dtaisceadh, is é sprioc tíotáiniam an t-ábhar sprice le haghaidh spútaireachta. Tá an t-ábhar sprice ceangailte leis an leictreoid dhiúltach den soláthar cumhachta spútaireachta, agus is é 400 ~ 500V an voltas sprice; Tá an flosc argóin socraithe, agus is é (3 ~ 8) x 10 an folús rialaithe.^-1PA. Tá an tsubstráit ceangailte leis an leictreoid dhiúltach den soláthar cumhachta claonta, le voltas 100~200V.

Tar éis soláthar cumhachta an sprice tíotáiniam spútartha a chasadh air, gintear urscaoileadh lonrúil, agus buamálann iain argóin ardfhuinnimh an sprioc spútartha, ag spútaráil adaimh tíotáiniam ón sprioc.

Cuirtear an gás imoibrithe nítrigine isteach, agus déantar na hadaimh tíotáiniam agus an nítrigin a ianú ina n-ian tíotáiniam agus iain nítrigine sa seomra sciath. Faoi mhealladh an réimse leictrigh claonta diúltach a chuirtear i bhfeidhm ar an tsubstráit, luasghéaraíonn iain tíotáiniam agus iain nítrigine go dtí dromchla an tsubstráit le haghaidh imoibriú ceimiceach agus taiscthe chun ciseal scannáin níotráite tíotáiniam a fhoirmiú.

3. Bain an tsubstráit amach

Tar éis an tiús scannáin réamhshocraithe a bhaint amach, múch an soláthar cumhachta spútarála, an soláthar cumhachta claonta foshraithe, agus an fhoinse aeir. Tar éis teocht an foshraithe a bheith níos ísle ná 120 ℃, líon an seomra sciath le haer agus bain an foshraith amach.

Tá an t-alt seo foilsithe agmonaróir meaisín sciath sputtering maighnéadrón- Guangdong Zhenhua.