1. Bombardementreinigingssubstraat
1.1) Sputtercoatingmasines brûke gloeiûntlading om it substraat skjin te meitsjen. Dat wol sizze, it argongas yn 'e keamer lade, de ûntladingsspanning is om de 1000V hinne. Nei it ynskeakeljen fan 'e stroomfoarsjenning wurdt in gloeiûntlading generearre, en it substraat wurdt skjinmakke troch argon-ionbombardemint.
1.2) Yn sputtercoatingmasines dy't yndustrieel hege-ein ornamenten produsearje, wurde titaniumioanen dy't útstjitten wurde troch lytse bôgeboarnen meast brûkt foar skjinmeitsjen. De sputtercoatingmasine is foarsjoen fan in lytse bôgeboarne, en de titaniumioanenstream yn it bôgeplasma dat generearre wurdt troch de ûntlading fan 'e lytse bôgeboarne wurdt brûkt om it substraat te bombardearjen en skjin te meitsjen.
2. Titaniumnitride-coating
By it ôfsetten fan tinne films fan titaniumnitride is it doelmateriaal foar sputterjen in titaniumdoel. It doelmateriaal is ferbûn mei de negative elektrode fan 'e sputterstroomfoarsjenning, en de doelspanning is 400~500V; De argonflux is fêst, en it kontrôlefakuüm is (3~8) x10-1PA. It substraat is ferbûn mei de negative elektrode fan 'e bias-stroomfoarsjenning, mei in spanning fan 100~200V.
Nei it ynskeakeljen fan 'e stroomfoarsjenning fan it sputterjende titaniumdoel, wurdt in gloeiûntlading generearre, en hege-enerzjy argon-ionen bombardearje it sputterjende doel, wêrtroch titaniumatomen fan it doel ôf sputterje.
It reaksjegas stikstof wurdt ynfierd, en de titaniumatomen en stikstof wurde ionisearre ta titaniumioanen en stikstofioanen yn 'e coatingkeamer. Under de oantrekkingskrêft fan it negative elektryske fjild dat op it substraat tapast wurdt, fersnelle titaniumioanen en stikstofioanen nei it oerflak fan it substraat foar in gemyske reaksje en ôfsetting om in titaniumnitridefilmlaach te foarmjen.
3. Nim it substraat derút
Nei it berikken fan de foarôf bepaalde filmdikte, skeakelje de sputterstroomfoarsjenning, substraatbias-stroomfoarsjenning en loftboarne út. Nei't de substraattemperatuer leger is as 120 ℃, folje de coatingkeamer mei loft en helje it substraat derút.
Dit artikel is publisearre trochfabrikant fan magnetron sputtering coating masines- Guangdong Zhenhua.
Pleatsingstiid: 7 april 2023