Pihustuskatte masina protsessi voog

1. Pommitamise puhastusaluspind

1.1) Pihustuskatmismasin kasutab aluspinna puhastamiseks hõõglahendust. See tähendab, et argoongaas laaditakse kambrisse, tühjenduspinge on umbes 1000 V. Pärast toite sisselülitamist tekib hõõglahendus ja aluspind puhastatakse argoonioonide pommitamise teel.

1.2) Tööstuslikult tipptasemel kaunistusi tootvates pihustuskatmismasinates kasutatakse puhastamiseks enamasti väikeste kaarallikate poolt eralduvaid titaanioone. Pihustuskatmismasin on varustatud väikese kaarallikaga ja väikese kaarallika tühjenemise tekitatud kaarplasmas tekkivat titaanioonivoogu kasutatakse aluspinna pommitamiseks ja puhastamiseks.

2. Titaannitriidkate

Titaannitriidi õhukeste kilede sadestamisel on pihustatava sihtmärgi materjaliks titaanist sihtmärk. Sihtmärk ühendatakse pihustusallika negatiivse elektroodiga ja sihtmärgi pinge on 400–500 V; argooni voog on fikseeritud ja kontrollvaakum on (3–8) x10⁻¹⁸.^-1PA. Substraat on ühendatud eelpingeallika negatiivse elektroodiga pingega 100–200 V.

Pärast pihustatava titaanist märklaua toiteallika sisselülitamist tekib hõõglahendus ja pihustatavat märklauda pommitavad suure energiaga argooniioonid, pihustades märklaualt titaani aatomeid.

Reaktsioonigaasi lämmastikku juhitakse sisse ning titaani aatomid ja lämmastik ioniseeritakse katmiskambris titaanioonideks ja lämmastikioonideks. Substraadile rakendatud negatiivse eelpingega elektrivälja mõjul kiirenevad titaanioonid ja lämmastikioonid substraadi pinnale keemiliseks reaktsiooniks ja sadestamiseks, moodustades titaannitriidi kilekihi.

3. Võtke aluspind välja

Pärast etteantud kile paksuse saavutamist lülitage välja pihustustoiteallikas, aluspinna eelpingeallikas ja õhuallikas. Kui aluspinna temperatuur on alla 120 ℃, täitke katmiskamber õhuga ja eemaldage aluspind.

Selle artikli avaldasmagnetroni pihustuskatte masina tootja– Guangdongi Zhenhua.