Proceza Fluo de Ŝprucmaŝino por Tegaĵo

1. Bombarda purigado de substrato

1.1) Ŝprucmaŝino uzas ardantan malŝargon por purigi la substraton. Tio estas, ŝargas la argonan gason en la ĉambron, malŝarga tensio estas ĉirkaŭ 1000V. Post ŝaltado de la elektroprovizo, ardanta malŝargo estas generita, kaj la substrato estas purigita per argonjona bombado.

1.2) En ŝpruc-tegaĵmaŝinoj, kiuj industrie produktas altkvalitajn ornamaĵojn, titanaj jonoj elsenditaj de malgrandaj arkaj fontoj estas plejparte uzataj por purigado. La ŝpruc-tegaĵmaŝino estas ekipita per malgranda arka fonto, kaj la titana jona fluo en la arka plasmo generita de la malŝarĝo de la malgranda arka fonto estas uzata por bombardi kaj purigi la substraton.

2. Titana nitrida tegaĵo

Dum deponado de titanaj nitridaj maldikaj filmoj, la cela materialo por ŝprucado estas titana celo. La cela materialo estas konektita al la negativa elektrodo de la ŝprucada elektrofonto, kaj la cela tensio estas 400~500V; La argona fluo estas fiksita, kaj la kontrola vakuo estas (3~8) × 10⁻⁵.^-1PA. La substrato estas konektita al la negativa elektrodo de la polarigita elektrofonto, kun tensio de 100~200V.

Post ŝaltado de la elektroprovizo de la ŝprucanta titania celo, eklumo estas generita, kaj alt-energiaj argonjonoj bombadas la ŝprucantan celon, ŝprucante titaniajn atomojn de la celo.

La reakcia gaso nitrogeno estas enkondukita, kaj la titanaj atomoj kaj nitrogeno estas jonigitaj en titanajn jonojn kaj nitrogenajn jonojn en la tegaĵa ĉambro. Sub la altiro de la negativa biasa elektra kampo aplikita al la substrato, titanaj jonoj kaj nitrogenaj jonoj akceliĝas al la surfaco de la substrato por kemia reakcio kaj deponado por formi titanan nitridan filmtavolon.

3. Elprenu la substraton

Post atingi la antaŭdifinitan filmdikecon, malŝaltu la ŝprucprovizon, la substratan biasoofonton kaj la aerfonton. Post kiam la substrattemperaturo estas sub 120 ℃, plenigu la tegaĵkameron per aero kaj elprenu la substraton.

Ĉi tiu artikolo estas publikigita demagnetrona ŝprucmaŝina tegaĵmaŝino fabrikanto– Guangdong Zhenhua.