Ροή διαδικασίας της μηχανής επικάλυψης με ψεκασμό

1. Υπόστρωμα καθαρισμού βομβαρδισμού

1.1) Η μηχανή επίστρωσης με ψεκασμό χρησιμοποιεί εκκένωση πυράκτωσης για τον καθαρισμό του υποστρώματος. Δηλαδή, φορτίστε το αέριο αργού στον θάλαμο, η τάση εκκένωσης είναι περίπου 1000V. Μετά την ενεργοποίηση της τροφοδοσίας, παράγεται μια εκκένωση πυράκτωσης και το υπόστρωμα καθαρίζεται με βομβαρδισμό με ιόντα αργού.

1.2) Σε μηχανές επίστρωσης με ψεκασμό που παράγουν βιομηχανικά διακοσμητικά υψηλής ποιότητας, τα ιόντα τιτανίου που εκπέμπονται από μικρές πηγές τόξου χρησιμοποιούνται κυρίως για καθαρισμό. Η μηχανή επίστρωσης με ψεκασμό είναι εξοπλισμένη με μια μικρή πηγή τόξου και το ρεύμα ιόντων τιτανίου στο πλάσμα τόξου που παράγεται από την εκκένωση της μικρής πηγής τόξου χρησιμοποιείται για τον βομβαρδισμό και τον καθαρισμό του υποστρώματος.

2. Επίστρωση νιτριδίου του τιτανίου

Κατά την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών νιτριδίου του τιτανίου, το υλικό-στόχος για τον ψεκασμό είναι το τιτάνιο. Το υλικό-στόχος συνδέεται με το αρνητικό ηλεκτρόδιο της τροφοδοσίας ψεκασμού και η τάση-στόχος είναι 400~500V. Η ροή αργού είναι σταθερή και το κενό ελέγχου είναι (3~8) x10.^-1PA. Το υπόστρωμα συνδέεται στο αρνητικό ηλεκτρόδιο της τροφοδοσίας πόλωσης, με τάση 100~200V.

Μετά την ενεργοποίηση της τροφοδοσίας του στόχου τιτανίου που ψεκάζεται, παράγεται μια εκκένωση λάμψης και ιόντα αργού υψηλής ενέργειας βομβαρδίζουν τον στόχο ψεκασμού, εκπέμποντας άτομα τιτανίου από τον στόχο.

Το αέριο άζωτο της αντίδρασης εισάγεται και τα άτομα τιτανίου και το άζωτο ιονίζονται σε ιόντα τιτανίου και ιόντα αζώτου στον θάλαμο επικάλυψης. Υπό την έλξη του αρνητικού ηλεκτρικού πεδίου που εφαρμόζεται στο υπόστρωμα, τα ιόντα τιτανίου και τα ιόντα αζώτου επιταχύνονται στην επιφάνεια του υποστρώματος για χημική αντίδραση και εναπόθεση για να σχηματίσουν ένα στρώμα μεμβράνης νιτριδίου του τιτανίου.

3. Αφαιρέστε το υπόστρωμα

Αφού επιτευχθεί το προκαθορισμένο πάχος της μεμβράνης, απενεργοποιήστε την τροφοδοσία ψεκασμού, την τροφοδοσία πόλωσης υποστρώματος και την πηγή αέρα. Αφού η θερμοκρασία του υποστρώματος πέσει κάτω από 120 ℃, γεμίστε τον θάλαμο επίστρωσης με αέρα και αφαιρέστε το υπόστρωμα.

Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης με ψεκασμό μαγνητρονίου– Γκουανγκντόνγκ Ζενχουά.