1. Hohlkathoden-Ionenbeschichtungsanlage und Heißdraht-Lichtbogen-Ionenbeschichtungsanlage
Die Hohlkathodenkanone und die Heißdraht-Lichtbogenkanone sind oben in der Beschichtungskammer installiert, die Anode unten und zwei elektromagnetische Spulen oben und unten am Rand der Beschichtungskammer. Die Lichtbogenelektronen fließen von oben nach unten und erzeugen eine spiralförmige Linienbewegung.
2. Permanentmagnet plus elektromagnetische Steuerung der kleinen kreisförmigen Kathodenbogenquelle
Die elektromagnetische Spule beschleunigt den Lichtbogenfleck, sodass er eine Drehbewegung im Umfang des Ziels ausführt. Dadurch wird die Verweilzeit des Lichtbogenflecks auf der Zieloberfläche verkürzt, die Fläche des Schmelzbads verkleinert und die Anordnung der Filmschicht verbessert.
3. Doppelte elektromagnetische Steuerung der Kathodenbogenquelle
Die kathodische Bogenquelle ist mit zwei elektromagnetischen Spulen ausgestattet, die die Rotationsgeschwindigkeit des Elektronenflusses verbessern und die Anordnung der Filmschichten verfeinern.
4. Magnetron-Zyklotron-PECVD
Außerhalb der DC-PECVD-Beschichtungskammer sind zwei elektromagnetische Spulen installiert, um die Elektronen zu rotieren, was die Wahrscheinlichkeit einer Kollision zwischen den Elektronen und dem Gas erhöht und die Dissoziationsrate der Partikel in der Filmschicht verbessert.
5.ECR Mikrowellen-PECVD
In der Beschichtungskammer sind außen oben und unten zwei elektromagnetische Spulen installiert, wodurch die Dissoziationsrate verbessert werden kann.
6. Lichtbogenentladungs-PECVD
In der Beschichtungskammer der Lichtbogenentladungs-PECVD-Anlage sind oben und unten zwei elektromagnetische Spulen installiert, um den Diamantfilm abzuscheiden. Durch das koaxiale elektromagnetische Feld kann der Elektronenfluss im Lichtbogen gedreht werden, um die Gasionisierung von Kohlenwasserstoffen zu stimulieren.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsanlagenGuangdong Zhenhua
Veröffentlichungszeit: 24. Oktober 2023