Llif Proses Peiriant Gorchudd Sputtering

1. Swbstrad glanhau bomio

1.1) Mae peiriant cotio chwistrellu yn defnyddio rhyddhau tywynnu i lanhau'r swbstrad. Hynny yw, mae'n gwefru'r nwy argon i'r siambr, mae'r foltedd rhyddhau tua 1000V, Ar ôl troi'r cyflenwad pŵer ymlaen, cynhyrchir rhyddhau tywynnu, ac mae'r swbstrad yn cael ei lanhau trwy fomio ïonau argon.

1.2) Mewn peiriannau cotio chwistrellu sy'n cynhyrchu addurniadau pen uchel yn ddiwydiannol, defnyddir ïonau titaniwm a allyrrir gan ffynonellau arc bach yn bennaf ar gyfer glanhau. Mae'r peiriant cotio chwistrellu wedi'i gyfarparu â ffynhonnell arc fach, a defnyddir y ffrwd ïon titaniwm yn y plasma arc a gynhyrchir gan y gollyngiad ffynhonnell arc fach i fomio a glanhau'r swbstrad.

2. Gorchudd titaniwm nitrid

Wrth ddyddodi ffilmiau tenau titaniwm nitrid, y deunydd targed ar gyfer chwistrellu yw targed titaniwm. Mae'r deunydd targed wedi'i gysylltu ag electrod negatif y cyflenwad pŵer chwistrellu, ac mae'r foltedd targed yn 400 ~ 500V; Mae'r fflwcs argon yn sefydlog, a'r gwactod rheoli yw (3 ~ 8) x 10^-1PA. Mae'r swbstrad wedi'i gysylltu ag electrod negatif y cyflenwad pŵer rhagfarn, gyda foltedd o 100 ~ 200V.

Ar ôl troi cyflenwad pŵer y targed titaniwm sy'n chwistrellu ymlaen, cynhyrchir gollyngiad tywynnu, ac mae ïonau argon egni uchel yn peledu'r targed sy'n chwistrellu, gan chwistrellu atomau titaniwm o'r targed.

Cyflwynir y nwy adwaith nitrogen, ac mae'r atomau titaniwm a'r nitrogen yn cael eu hïoneiddio'n ïonau titaniwm ac ïonau nitrogen yn y siambr cotio. O dan atyniad y maes trydan rhagfarn negyddol a roddir ar y swbstrad, mae ïonau titaniwm ac ïonau nitrogen yn cyflymu i wyneb y swbstrad ar gyfer adwaith cemegol a dyddodiad i ffurfio haen ffilm titaniwm nitrid.

3. Tynnwch y swbstrad allan

Ar ôl cyrraedd y trwch ffilm a bennwyd ymlaen llaw, diffoddwch y cyflenwad pŵer chwistrellu, cyflenwad pŵer rhagfarn y swbstrad, a'r ffynhonnell aer. Ar ôl i dymheredd y swbstrad fod yn is na 120 ℃, llenwch y siambr cotio ag aer a thynnwch y swbstrad allan.

Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio chwistrellu magnetron- Guangdong Zhenhua.