1. বোমাবাজি পরিষ্কারের সাবস্ট্রেট
১.১) স্পুটারিং লেপ মেশিন সাবস্ট্রেট পরিষ্কার করার জন্য গ্লো ডিসচার্জ ব্যবহার করে। অর্থাৎ, আর্গন গ্যাসকে চেম্বারে চার্জ করুন, ডিসচার্জ ভোল্টেজ প্রায় ১০০০V। পাওয়ার সাপ্লাই চালু করার পর, একটি গ্লো ডিসচার্জ তৈরি হয় এবং আর্গন আয়ন বোমাবর্ষণ দ্বারা সাবস্ট্রেট পরিষ্কার করা হয়।
১.২) শিল্পোন্নত অলঙ্কার তৈরির জন্য ব্যবহৃত স্পুটারিং লেপ মেশিনগুলিতে, ছোট আর্ক উৎস থেকে নির্গত টাইটানিয়াম আয়নগুলি বেশিরভাগই পরিষ্কারের জন্য ব্যবহৃত হয়। স্পুটারিং লেপ মেশিনটি একটি ছোট আর্ক উৎস দিয়ে সজ্জিত, এবং ছোট আর্ক উৎস থেকে উৎপন্ন আর্ক প্লাজমাতে থাকা টাইটানিয়াম আয়ন স্ট্রিমটি সাবস্ট্রেট বোমাবর্ষণ এবং পরিষ্কার করার জন্য ব্যবহৃত হয়।
2. টাইটানিয়াম নাইট্রাইড আবরণ
টাইটানিয়াম নাইট্রাইড পাতলা ফিল্ম জমা করার সময়, স্পুটারিংয়ের জন্য লক্ষ্য উপাদান হল টাইটানিয়াম লক্ষ্য। লক্ষ্য উপাদানটি স্পুটারিং পাওয়ার সাপ্লাইয়ের নেতিবাচক ইলেক্ট্রোডের সাথে সংযুক্ত থাকে এবং লক্ষ্য ভোল্টেজ 400~500V; আর্গন ফ্লাক্স স্থির থাকে এবং নিয়ন্ত্রণ ভ্যাকুয়াম (3~8) x10 হয়।-1PA। সাবস্ট্রেটটি বায়াস পাওয়ার সাপ্লাইয়ের নেতিবাচক ইলেকট্রোডের সাথে সংযুক্ত, যার ভোল্টেজ 100~200V।
স্পুটারিং টাইটানিয়াম টার্গেটের পাওয়ার সাপ্লাই চালু করার পর, একটি গ্লো ডিসচার্জ তৈরি হয় এবং উচ্চ-শক্তির আর্গন আয়ন স্পুটারিং টার্গেটের উপর বোমাবর্ষণ করে, লক্ষ্যবস্তু থেকে টাইটানিয়াম পরমাণু বের করে দেয়।
বিক্রিয়া গ্যাস নাইট্রোজেন প্রবর্তন করা হয়, এবং টাইটানিয়াম পরমাণু এবং নাইট্রোজেন আবরণ চেম্বারে টাইটানিয়াম আয়ন এবং নাইট্রোজেন আয়নে আয়নিত হয়। সাবস্ট্রেটে প্রয়োগ করা নেতিবাচক পক্ষপাত বৈদ্যুতিক ক্ষেত্রের আকর্ষণের অধীনে, টাইটানিয়াম আয়ন এবং নাইট্রোজেন আয়নগুলি রাসায়নিক বিক্রিয়া এবং জমার জন্য সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে ত্বরান্বিত হয় এবং একটি টাইটানিয়াম নাইট্রাইড ফিল্ম স্তর তৈরি করে।
৩. সাবস্ট্রেট বের করে নিন
পূর্বনির্ধারিত ফিল্ম বেধে পৌঁছানোর পর, স্পুটারিং পাওয়ার সাপ্লাই, সাবস্ট্রেট বায়াস পাওয়ার সাপ্লাই এবং বায়ু উৎস বন্ধ করুন। সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা 120 ℃ এর কম হওয়ার পর, আবরণ চেম্বারটি বাতাস দিয়ে পূর্ণ করুন এবং সাবস্ট্রেটটি বের করে নিন।
এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপ মেশিন প্রস্তুতকারক- গুয়াংডং জেনহুয়া।
পোস্টের সময়: এপ্রিল-০৭-২০২৩