Процес на работа на машина за разпрашително покритие

1. Субстрат за почистване с бомбардиране

1.1) Машината за разпрашително покритие използва тлеещ разряд за почистване на основата. Това означава, че аргоновият газ се зарежда в камерата, напрежението на разряд е около 1000V. След включване на захранването се генерира тлеещ разряд и основата се почиства чрез бомбардиране с аргонови йони.

1.2) В машините за разпрашване, които промишлено произвеждат висококачествени орнаменти, титаниевите йони, излъчвани от малки дъгови източници, се използват най-вече за почистване. Машината за разпрашване е оборудвана с малък дъгов източник и потокът от титаниеви йони в дъговата плазма, генериран от разряда на малкия дъгов източник, се използва за бомбардиране и почистване на субстрата.

2. Покритие от титанов нитрид

При отлагане на тънки филми от титанов нитрид, целевият материал за разпрашване е титаниева мишена. Целевият материал е свързан към отрицателния електрод на захранването за разпрашване, а целевото напрежение е 400~500V; аргоновият поток е фиксиран, а контролният вакуум е (3~8) x10.^-1PA. Субстратът е свързан към отрицателния електрод на захранването с напрежение 100~200V.

След включване на захранването на разпрашваната титаниева мишена, се генерира тлеещ разряд и високоенергийни аргонови йони бомбардират разпрашваната мишена, разпрашавайки титаниеви атоми от мишената.

В камерата за нанасяне на покритие се въвежда реакционният газ азот, а титановите атоми и азотът се йонизират в титанови и азотни йони. Под въздействието на отрицателното електрическо поле, приложено към субстрата, титановите и азотните йони се ускоряват към повърхността на субстрата за химическа реакция и отлагане, образувайки слой от титанов нитрид.

3. Извадете субстрата

След достигане на предварително определената дебелина на филма, изключете захранването за разпрашаване, захранването за подаване на въздух към субстрата и източника на въздух. След като температурата на субстрата падне под 120 ℃, напълнете камерата за покритие с въздух и извадете субстрата.

Тази статия е публикувана отпроизводител на машина за магнетронно разпрашване– Гуандун Джънхуа.