1. ركيزة تنظيف القصف
١.١) تستخدم آلة طلاء الرش التفريغ المتوهج لتنظيف السطح. أي، يتم شحن غاز الأرجون في الحجرة، ويبلغ جهد التفريغ حوالي ١٠٠٠ فولت. بعد تشغيل مصدر الطاقة، يتم توليد تفريغ متوهج، ثم تُنظف السطح بقصف أيونات الأرجون.
١.٢) في آلات الطلاء بالرشّ المُستخدمة في إنتاج حُلي فاخرة صناعيًا، تُستخدم أيونات التيتانيوم المنبعثة من مصادر قوسية صغيرة في الغالب للتنظيف. تُجهّز آلة الطلاء بالرشّ بمصدر قوسي صغير، ويُستخدم تيار أيونات التيتانيوم في بلازما القوس الناتجة عن تفريغ مصدر القوس الصغير لرشّ وتنظيف الركيزة.
2. طلاء نيتريد التيتانيوم
عند ترسيب أغشية نيتريد التيتانيوم الرقيقة، يكون هدف الرش هو التيتانيوم. تُوصل المادة المستهدفة بالقطب السالب لمصدر طاقة الرش، ويتراوح جهدها بين 400 و500 فولت؛ ويكون تدفق الأرجون ثابتًا، ويكون فراغ التحكم (3-8) × 10.-1PA. يتم توصيل الركيزة بالقطب السالب لمصدر الطاقة المتحيز، بجهد يتراوح بين 100 و200 فولت.
بعد تشغيل مصدر الطاقة للهدف التيتانيوم المرشوش، يتم توليد تفريغ متوهج، وتقصف أيونات الأرجون عالية الطاقة الهدف المرشوش، مما يؤدي إلى رش ذرات التيتانيوم من الهدف.
يُدخل غاز النيتروجين التفاعلي، وتتأين ذرات التيتانيوم والنيتروجين إلى أيونات التيتانيوم وأيونات النيتروجين في حجرة الطلاء. تحت تأثير المجال الكهربائي ذي الانحياز السالب المطبق على الركيزة، تتسارع أيونات التيتانيوم وأيونات النيتروجين إلى سطح الركيزة للتفاعل الكيميائي والترسيب، لتكوين طبقة رقيقة من نيتريد التيتانيوم.
3. قم بإزالة الركيزة
بعد الوصول إلى سُمك الفيلم المُحدد، يُفصل مصدر طاقة الرش، ومصدر طاقة انحياز الركيزة، ومصدر الهواء. بعد أن تنخفض درجة حرارة الركيزة عن 120 درجة مئوية، يُملأ حجرة الطلاء بالهواء ويُخرج الركيزة.
تم نشر هذه المقالة بواسطةشركة تصنيع آلات طلاء الرش المغناطيسي– قوانغدونغ تشنهوا.
وقت النشر: ٧ أبريل ٢٠٢٣