1. Hollow cathode ion ẹrọ ẹrọ ati ẹrọ ti o ni okun waya arc ion ti o gbona
Ibon cathode ti o ṣofo ati ibon arc okun waya ti o gbona ti fi sori ẹrọ ni oke iyẹwu ti a bo, a ti fi sori ẹrọ anode ni isalẹ, ati awọn coils itanna meji ti fi sori ẹrọ ni oke ati isalẹ ti ẹba iyẹwu ti a bo. Arc ina itanna sisan lati oke si isalẹ lati se ajija ila ronu.
2. Yẹ oofa pẹlu itanna Iṣakoso ti awọn kekere ipin cathode aaki orisun
Epo itanna eletiriki n yara aaye arc lati ṣe iṣipopada iyipo ni iyipo ibi-afẹde, eyiti o dinku akoko ibugbe ti aaye arc lori ibi ibi-afẹde, dinku agbegbe ti adagun didà ati ṣatunṣe agbari Layer fiimu.
3.Dual itanna iṣakoso orisun cathodic arc
Orisun arc cathodic ti ni ipese pẹlu awọn coils itanna eletiriki meji, eyiti o ṣe ilọsiwaju iyara iyipo ti sisan elekitironi ati ṣe atunṣe agbari Layer fiimu.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
Meji itanna coils ti wa ni ti fi sori ẹrọ ni ita awọn DC PECVD ibora iyẹwu lati ṣe awọn elekitironi yiyi, eyi ti o mu ki awọn iṣeeṣe ti ijamba laarin awọn elekitironi ati gaasi, ati ki o mu awọn dissociation oṣuwọn ti awọn patikulu ni fiimu Layer.
5.ECR Makirowefu PECVD
Ni awọn ti a bo iyẹwu ita awọn ti fi sori ẹrọ ni oke ati isalẹ pẹlu meji itanna coils, le mu awọn dissociation oṣuwọn.
6.Arc Light Discharge PECVD
Ninu iṣipopada arc PECVD iyẹwu ohun elo ti o wa ni ayika fifi sori oke ati isalẹ ti awọn coils itanna eletiriki meji, ifisilẹ ti fiimu diamond, aaye itanna coaxial le jẹ yiyi ṣiṣan itanna arc lati mu ionization gaasi ti hydrocarbons.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-24-2023