1. ליידיקע קאַטאָדע יאָן קאָוטינג מאַשין און הייס דראָט אַרק יאָן קאָוטינג מאַשין
די ליידיגע קאַטאָדע ביקס און הייסע דראָט בויגן ביקס זענען אינסטאַלירט אין דער שפּיץ פון דער קאָוטינג קאַמער, די אַנאָדע איז אינסטאַלירט אין דער דנאָ, און צוויי עלעקטראָמאַגנעטישע שפּולן זענען אינסטאַלירט אין דער שפּיץ און דנאָ פון דער קאָוטינג קאַמער פּעריפעריע. בויגן ליכט עלעקטראָן פליסן פון דער שפּיץ צו דער דנאָ צו מאַכן אַ שפּיראַל ליניע באַוועגונג.
2. שטענדיקער מאַגנעט פּלוס עלעקטראָמאַגנעטישע קאָנטראָל פון דער קליינער קייַלעכדיקער קאַטאָדע אַרק מקור
די עלעקטראָמאַגנעטישע שפּול אַקסעלערירט דעם בויגן-פונקט צו טאָן אַ ראָטאַציע באַוועגונג אין דעם אַרומקרייז פון דער ציל, וואָס ראַדוסירט די וווינאָרט-צייט פון דעם בויגן-פונקט אויף דער ציל-איבערפלאַך, פאַרקלענערט די שטח פון דעם געשמאָלצן בעקן און פאַרפעסטיקט די אָרגאַניזאַציע פון דער פילם-שיכט.
3. צווייפאַכיקע עלעקטראָמאַגנעטישע קאָנטראָל קאַטאָדישע אַרק מקור
די קאַטאָדישע אַרק מקור איז אויסגעשטאַט מיט צוויי עלעקטראָמאַגנעטישע שפּולן, וואָס פֿאַרבעסערט די ראָטאַציע גיכקייט פון עלעקטראָן שטראָם און ראַפינירט די פילם שיכט אָרגאַניזאַציע.
4. מאַגנעטראָן ציקלאָטראָן PECVD
צוויי עלעקטראָמאַגנעטישע שפּולן זענען אינסטאַלירט אַרויס פון דער DC PECVD קאָוטינג קאַמער צו מאַכן די עלעקטראָנען זיך דרייען, וואָס פאַרגרעסערט די וואַרשיינלעכקייט פון אַ קאָליזיע צווישן די עלעקטראָנען און דעם גאַז, און פֿאַרבעסערט די דיסאָסיאַציע קורס פון די פּאַרטיקלען אין דער פילם שיכט.
5.ECR מייקראַווייוו PECVD
אין דער קאָוטינג קאַמער אַרויס די אינסטאַלירט די אויבערשטע און אונטערשטע מיט צוויי עלעקטראָמאַגנעטישע שפּולן, קענען פֿאַרבעסערן די דיסאָסיאַציע קורס.
6.אַרק ליכט אָפּזאָגן PECVD
אין דער באָגן אָפּזאָגן PECVD עקוויפּמענט קאָוטינג קאַמער אַרום די אויבערשטער און נידעריקער ינסטאַלירונג פון צוויי עלעקטראָמאַגנעטישע שפּולן, דעפּאַזישאַן פון דימענט פילם, די קאָאַקסיאַל עלעקטראָמאַגנעטישע פעלד קענען זיין ראָוטייטיד באָגן עלעקטראָן לויפן צו סטימולירן די גאַז ייאַניזיישאַן פון כיידראָוקאַרבאַנז.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 24סטן אָקטאָבער 2023