1. Máy phủ ion catốt rỗng và máy phủ ion hồ quang dây nóng
Súng catốt rỗng và súng hồ quang dây nóng được lắp đặt ở phía trên của buồng phủ, anot được lắp đặt ở phía dưới và hai cuộn dây điện từ được lắp đặt ở phía trên và phía dưới của chu vi buồng phủ. Dòng electron ánh sáng hồ quang chảy từ trên xuống dưới để thực hiện chuyển động theo đường xoắn ốc.
2. Nam châm vĩnh cửu cộng với điều khiển điện từ của nguồn hồ quang catốt tròn nhỏ
Cuộn dây điện từ tăng tốc điểm hồ quang để tạo chuyển động quay theo chu vi của mục tiêu, giúp giảm thời gian lưu trú của điểm hồ quang trên bề mặt mục tiêu, giảm diện tích vũng nóng chảy và cải thiện tổ chức lớp màng.
3. Nguồn hồ quang catốt điều khiển điện từ kép
Nguồn hồ quang catốt được trang bị hai cuộn dây điện từ, giúp cải thiện tốc độ quay của dòng electron và tinh chỉnh cấu trúc lớp màng.
4.Máy gia tốc Cyclotron từ trường PECVD
Hai cuộn dây điện từ được lắp bên ngoài buồng phủ DC PECVD để làm các electron quay, làm tăng khả năng va chạm giữa các electron và khí, đồng thời cải thiện tốc độ phân ly của các hạt trong lớp màng.
5.ECR lò vi sóng PECVD
Trong buồng phủ bên ngoài được lắp đặt hai cuộn dây điện từ ở trên và dưới, có thể cải thiện tốc độ phân ly.
6. Phóng điện hồ quang PECVD
Trong buồng phủ thiết bị phóng điện hồ quang PECVD xung quanh lắp đặt hai cuộn dây điện từ trên và dưới, lắng đọng màng kim cương, trường điện từ đồng trục có thể quay dòng electron hồ quang để kích thích quá trình ion hóa khí của hydrocarbon.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 24-10-2023