1. Bo'shliq katodli ion qoplama mashinasi va issiq simli yoyli ion qoplama mashinasi
Qoplama kamerasining yuqori qismida ichi bo'sh katodli qurol va issiq simli yoy quroli, pastki qismida anod o'rnatilgan va qoplama kamerasining yuqori va pastki qismida ikkita elektromagnit sariq o'rnatilgan. Spiral chiziq harakatini amalga oshirish uchun yoy nuri elektroni yuqoridan pastgacha oqadi.
2. Doimiy magnit plyus kichik dumaloq katod boshq manbai elektromagnit nazorati
Elektromagnit lasan maqsad atrofida aylanish harakatini amalga oshirish uchun yoy nuqtasini tezlashtiradi, bu esa maqsad yuzasida yoy nuqtasining yashash vaqtini qisqartiradi, eritilgan hovuz maydonini kamaytiradi va kino qatlamini tashkil qilishni yaxshilaydi.
3.Dual elektromagnit nazorat katod boshq manbai
Katodik boshq manbai ikkita elektromagnit sariq bilan jihozlangan, bu elektron oqimining aylanish tezligini yaxshilaydi va kino qatlamini tashkil qilishni yaxshilaydi.
4.Magnetron siklotron PECVD
Elektronlarning aylanishini ta'minlash uchun DC PECVD qoplama kamerasidan tashqarida ikkita elektromagnit sariq o'rnatilgan, bu elektronlar va gaz o'rtasidagi to'qnashuv ehtimolini oshiradi va plyonka qatlamidagi zarrachalarning dissotsiatsiya tezligini yaxshilaydi.
5.ECR Mikroto'lqinli pech PECVD
Yuqori va pastki ikkita elektromagnit lasan bilan o'rnatilgan tashqi qoplama kamerasida dissotsiatsiya tezligini oshirish mumkin.
6.Arc Light Discharge PECVD
Ikki elektromagnit bobinning yuqori va pastki o'rnatilishi, olmos plyonkasining yotqizilishi, koaksiyal elektromagnit maydonning uglevodorodlarning gaz ionlanishini rag'batlantirish uchun yoy elektron oqimini aylantirishi mumkin.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Xabar vaqti: 24-oktabr-2023