سماکشی الیکٹرو میگنیٹک فیلڈ ٹائپ آئن کوٹنگ مشین

1. کھوکھلی کیتھوڈ آئن کوٹنگ مشین اور گرم تار آرک آئن کوٹنگ مشین

کھوکھلی کیتھوڈ گن اور ہاٹ وائر آرک گن کوٹنگ چیمبر کے اوپری حصے میں نصب کیے گئے ہیں، انوڈ کو نیچے نصب کیا گیا ہے، اور دو برقی مقناطیسی کوائل کوٹنگ چیمبر کے اوپری حصے کے اوپر اور نیچے نصب کیے گئے ہیں۔ سرپل لائن کی حرکت کرنے کے لیے آرک لائٹ الیکٹران اوپر سے نیچے کی طرف بہاؤ۔

2. چھوٹے سرکلر کیتھوڈ آرک سورس کا مستقل مقناطیس کے علاوہ برقی مقناطیسی کنٹرول

برقی مقناطیسی کوائل ہدف کے طواف میں گردش کرنے کے لیے آرک اسپاٹ کو تیز کرتا ہے، جس سے ہدف کی سطح پر آرک اسپاٹ کا رہائشی وقت کم ہوجاتا ہے، پگھلے ہوئے تالاب کا رقبہ کم ہوجاتا ہے اور فلمی تہہ کی تنظیم کو بہتر بنایا جاتا ہے۔

3. دوہری برقی مقناطیسی کنٹرول کیتھوڈک آرک سورس

کیتھوڈک آرک سورس دو برقی مقناطیسی کنڈلیوں سے لیس ہے، جو الیکٹران کے بہاؤ کی گردشی رفتار کو بہتر بناتا ہے اور فلم کی تہہ کی تنظیم کو بہتر بناتا ہے۔

4. میگنیٹران سائکلوٹرون PECVD

الیکٹرانوں کو گھومنے کے لیے DC PECVD کوٹنگ چیمبر کے باہر دو برقی مقناطیسی کوائل نصب کیے گئے ہیں، جس سے الیکٹران اور گیس کے درمیان تصادم کا امکان بڑھ جاتا ہے، اور فلم کی تہہ میں ذرات کی علیحدگی کی شرح بہتر ہوتی ہے۔

5.ECR مائکروویو PECVD

دو برقی مقناطیسی کنڈلی کے ساتھ اوپری اور نچلے نصب کے باہر کوٹنگ چیمبر میں، انحطاط کی شرح کو بہتر بنا سکتے ہیں.

6. آرک لائٹ ڈسچارج PECVD

آرک ڈسچارج PECVD آلات کوٹنگ چیمبر میں دو برقی مقناطیسی کنڈلیوں کی اوپری اور نچلی تنصیب کے ارد گرد، ہیرے کی فلم کی جمع، سماکشیی برقی مقناطیسی میدان کو ہائیڈرو کاربن کی گیس آئنائزیشن کو متحرک کرنے کے لیے آرک الیکٹران کے بہاؤ کو گھمایا جا سکتا ہے۔

-یہ مضمون کی طرف سے جاری کیا گیا ہےویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا