1. Машина для іонного покриття з порожнистим катодом та машина для іонного покриття з гарячим дротом
Гармата з порожнистим катодом та дугова гармата з гарячим дротом встановлені у верхній частині камери покриття, анод встановлений у нижній частині, а дві електромагнітні котушки встановлені у верхній та нижній частинах периферії камери покриття. Електрони дуги рухаються зверху вниз, здійснюючи спіральний рух.
2. Постійний магніт плюс електромагнітне керування джерелом дуги малого кругового катода
Електромагнітна котушка прискорює дугове пляма для здійснення обертального руху по колу мішені, що зменшує час перебування дугового плями на поверхні мішені, зменшує площу розплавленої ванни та покращує організацію шару плівки.
3. Подвійне електромагнітне керування катодним джерелом дуги
Катодне дугове джерело оснащене двома електромагнітними котушками, що покращує швидкість обертання потоку електронів та покращує організацію шару плівки.
4. Магнетронний циклотрон PECVD
Дві електромагнітні котушки встановлені зовні камери покриття DC PECVD, щоб змусити електрони обертатися, що збільшує ймовірність зіткнення між електронами та газом і покращує швидкість дисоціації частинок у шарі плівки.
5. Мікрохвильова піч ECR PECVD
У камері покриття зовні встановлено верхню та нижню дві електромагнітні котушки, що може покращити швидкість дисоціації.
6. Дуговий світловий розряд PECVD
У дуговому розряді PECVD обладнання для покриття навколо верхньої та нижньої установки двох електромагнітних котушок, осадження алмазної плівки, коаксіальне електромагнітне поле може обертати потік електронів дуги для стимулювання іонізації газу вуглеводнів.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 24 жовтня 2023 р.