1. Буш катод ион каплау машинасы һәм кайнар чыбык дугасы ион каплау машинасы
Буш катод мылтыгы һәм кайнар чыбык аркасы мылтыгы каплау камерасының өске өлешенә, анод астына куелган, һәм каплау камерасы перифериясенең өске һәм аскы өлешенә ике электромагнит кәтүк куелган. Спираль сызык хәрәкәтен башкару өчен арканың җиңел электрон агымы өстән аска агыла.
2. Даими магнит плюс һәм кечкенә түгәрәк катод дуга чыганагының электромагнит контроле
Электромагнит кәтүк дуга аркасын әйләндерә, максат әйләнәсендә әйләнү хәрәкәтен тизләтә, бу дуга урынының яшәү вакытын кыскарта, эретелгән бассейн мәйданын киметә һәм кино катламы оешмасын чистарта.
3. Ике электромагнит контроль катод дугасы чыганагы
Катод дугасы чыганагы ике электромагнит кәтүк белән җиһазландырылган, бу электрон агымның әйләнү тизлеген яхшырта һәм кино катламы оешмасын чистарта.
4.Магнетрон циклотрон PECVD
Электрон әйләнү өчен DC PECVD каплау камерасы читендә ике электромагнит кәтүк урнаштырылган, бу электроннар белән газ арасында бәрелешү ихтималын арттыра һәм кино катламындагы кисәкчәләрнең аерылу тизлеген яхшырта.
5.ECR микродулкынлы PECVD
Ике электромагнит кәтүк белән урнаштырылган өске һәм аскы тыштагы каплау камерасында аерылу тизлеген яхшырта ала.
6.Арк җиңел агызу PECVD
Ике электромагнит кәтүкнең өске һәм аскы монтаж тирәсендә, бриллиант пленкасын урнаштыру тирәсендә, PECVD җиһазларын каплау камерасында углеводородларның газ ионизациясен стимуллаштыру өчен коаксиаль электромагнит кыры әйләнергә мөмкин.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 24-2023 октябрь