1. İçi boş katot iyon kaplama makinesi ve sıcak tel ark iyon kaplama makinesi
Kaplama odasının tepesine içi boş katot tabancası ve sıcak tel ark tabancası, altına anot ve kaplama odası çevresinin üstüne ve altına iki elektromanyetik bobin yerleştirilir. Ark ışığı elektron akışı yukarıdan aşağıya doğru spiral çizgi hareketi yapar.
2. Küçük dairesel katot ark kaynağının kalıcı mıknatısı artı elektromanyetik kontrolü
Elektromanyetik bobin, ark noktasının hedef çevresinde dönme hareketi yapmasını hızlandırır, bu da ark noktasının hedef yüzeyinde kalma süresini azaltır, erimiş havuzun alanını küçültür ve film tabakası organizasyonunu iyileştirir.
3.Çift elektromanyetik kontrol katodik ark kaynağı
Katot ark kaynağı, elektron akışının dönme hızını artıran ve film tabakası organizasyonunu iyileştiren iki elektromanyetik bobinle donatılmıştır.
4.Magnetron Siklotron PECVD
DC PECVD kaplama haznesinin dışına, elektronların dönmesini sağlamak için iki adet elektromanyetik bobin yerleştirilir; bu sayede elektronlar ile gaz arasındaki çarpışma olasılığı artar ve film tabakasındaki parçacıkların ayrışma hızı iyileştirilir.
5.ECR Mikrodalga PECVD
Kaplama haznesinin dışına monte edilen üst ve alt kısımda iki adet elektromanyetik bobin ile ayrışma oranı artırılabilir.
6. Ark Işık Deşarjı PECVD
Ark deşarjlı PECVD ekipmanında, üst ve alt tarafta iki elektromanyetik bobinin montajı, elmas filmin biriktirilmesi, koaksiyel elektromanyetik alanın ark elektron akışını döndürerek hidrokarbonların gaz iyonizasyonunu uyarması için kaplama odası bulunmaktadır.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Yayınlanma zamanı: 24-Eki-2023