1. Hollow cathode ion coating machine at hot wire arc ion coating machine
Ang hollow cathode gun at hot wire arc gun ay naka-install sa tuktok ng coating chamber, ang anode ay naka-install sa ibaba, at dalawang electromagnetic coils ay naka-install sa tuktok at ibaba ng coating chamber periphery. Ang arc light electron ay dumadaloy mula sa itaas hanggang sa ibaba upang gawin ang paggalaw ng spiral line.
2. Permanent magnet plus electromagnetic control ng maliit na circular cathode arc source
Pinapabilis ng electromagnetic coil ang arc spot upang gawin ang rotary movement sa circumference ng target, na binabawasan ang oras ng paninirahan ng arc spot sa target surface, binabawasan ang lugar ng molten pool at pinipino ang film layer organization.
3.Dual electromagnetic control cathodic arc pinagmulan
Ang cathodic arc source ay nilagyan ng dalawang electromagnetic coils, na nagpapabuti sa rotational speed ng electron flow at pinipino ang film layer organization.
4.Magnetron Cyclotron PECVD
Dalawang electromagnetic coils ang naka-install sa labas ng DC PECVD coating chamber para paikutin ang mga electron, na nagpapataas ng posibilidad ng banggaan sa pagitan ng mga electron at ng gas, at pinapabuti ang dissociation rate ng mga particle sa film layer.
5.ECR Microwave PECVD
Sa silid ng patong sa labas ng naka-install sa itaas at mas mababa na may dalawang electromagnetic coils, maaaring mapabuti ang dissociation rate.
6.Arc Light Discharge PECVD
Sa arc discharge PECVD kagamitan coating kamara sa paligid ng upper at lower installation ng dalawang electromagnetic coils, pagtitiwalag ng brilyante film, ang panlahat na ehe electromagnetic field ay maaaring pinaikot arc electron daloy upang pasiglahin ang gas ionization ng hydrocarbons.
–Ang artikulong ito ay inilabas ngtagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng post: Okt-24-2023