Ion örtükmaşyn DM Mattox tarapyndan 1960-njy ýyllarda teklip edilen teoriýadan gözbaş alyp gaýdýar we şol döwürde degişli synaglar başlandy;1971-nji ýyla çenli Palatalar we beýlekiler elektron şöhle ion örtmek tehnologiýasyny neşir etdiler;Reaktiw bugarmak örtügi (ARE) tehnologiýasy, 1972-nji ýylda TiC we TiN ýaly gaty gaty film görnüşleri öndürilende Bunshah hasabatynda görkezildi;Şeýle hem 1972-nji ýylda Smit we Molli örtük prosesinde boş katod tehnologiýasyny kabul etdiler.1980-nji ýyllarda Hytaýda ion örtügi ahyrsoňy senagat ulanylyş derejesine ýetdi we wakuum köp ýaýly ion örtügi we ýaýly ion örtügi ýaly örtük prosesleri yzygiderli peýda boldy.
Wakuum ion örtüginiň tutuş iş prosesi aşakdaky ýaly: ilki,nasoswakuum kamerasy, soň bolsagaraşwakuum basyşy 4X10 ⁻ ³ Paýa-da has gowusy, ýokary woltly tok üpjünçiligini birikdirmeli we substrat bilen bugarýan arasynda pes woltly çykaryş gazynyň pes temperaturaly plazma meýdanyny gurmaly.Katodyň ýalpyldawuk akymyny emele getirmek üçin substrat elektrodyny 5000V DC negatiw ýokary naprýa .eniýe bilen birikdiriň.Negativearamaz şöhle meýdanynyň golaýynda inert gaz ionlary emele gelýär.Katodyň garaňky meýdanyna girýärler we elektrik meýdany bilen tizlenýärler we substratyň ýüzüni bombalaýarlar.Bu arassalaýyş, soňra örtük prosesine giriň.Bombalanmagy ýylatmagyň täsiri bilen käbir örtük materiallary buglanýar.Plazma meýdany protonlara girýär, elektronlar we inert gaz ionlary bilen çaknyşýar we az bölegi ionlaşdyrylýar, energyokary energiýa bilen bu ionlaşdyrylan ionlar filmiň üstüni bombalar we filmiň hilini belli bir derejede ýokarlandyrar.
Wakuum ion örtüginiň prinsipi: wakuum kamerasynda, bug çykarylýan hadysany ýa-da buglanan materialyň ionlaşdyrylan bölegini ulanyp, buglanan material ionlaryny ýa-da gaz ionlaryny bombalap, şol bir wagtyň özünde bu buglanan maddalary ýa-da reaktiwleri substratda goýuň. inçe film almak üçin.Ion örtügimaşynvakuum bugarmagy, plazma tehnologiýasy we gaz ýalpyldawuk akymyny birleşdirýär, bu diňe bir filmiň hilini ýokarlandyrman, eýsem filmiň ulanylyş gerimini hem giňeldýär.Bu prosesiň artykmaçlyklary güýçli difraksiýa, gowy film ýelimi we dürli örtük materiallarydyr.Ion örtmek prinsipi ilkinji gezek DM Mattox tarapyndan teklip edildi.Ion örtüginiň köp görnüşi bar.Iň ýaýran görnüş, bugarmak bilen ýyladyş, garşylykly ýyladyş, elektron şöhlesini ýylatmak, plazma elektron şöhlesini ýylatmak, ýokary ýygylykly induksiýa ýyladyş we beýleki ýyladyş usullary.
Iş wagty: Fewral-14-2023