Prensîba Xebatê ya makîneya Plating Ion çi ye

Ion coatingmakîne ji teoriya ku di salên 1960-an de ji hêla DM Mattox ve hatî pêşniyar kirin, û ceribandinên têkildar di wê demê de dest pê kirin;Heya sala 1971, Chambers û yên din teknolojiya tîrêjên elektronîkî yên plating ion weşandin;Teknolojiya evaporasyona reaktîf (ARE) di sala 1972-an de di rapora Bunshah de hate destnîşan kirin, dema ku celebên fîlimên super-hişk ên wekî TiC û TiN hatin hilberandin;Di heman demê de di 1972 de, Smith û Molley teknolojiya katodê ya vala di pêvajoya pêvekirinê de pejirand.Di salên 1980-an de, li Chinaînê îyona îyonê di dawiyê de gihîştibû asta sepana pîşesaziyê, û pêvajoyên nixumandinê yên wekî valahiya îyona pir-arc valahiya û plating ion-derxistina arc li pey hev xuya bûn.

Tevahiya pêvajoya xebatê ya plating ion vacuum wiha ye: yekem,pompeodeya valahiya, û paşêpayinzexta valahiya 4X10-³ Paan çêtir, pêdivî ye ku meriv dabînkirina hêzê ya voltaja bilind ve girêbide û di navbera substrat û vaporatorê de herêmek plasma ya germahiya nizm a gaza dakêşana voltaja nizm were çêkirin.Elektroda substratê bi voltaja bilind a neyînî ya 5000V DC ve girêdin da ku ronahiya katodê çêbike.Îyonên gaza bêserûber li nêzî qada şewqa neyînî têne hilberandin.Ew dikevin qada tarî ya katodê û ji hêla qada elektrîkê ve têne lez kirin û rûyê substratê bombebaran dikin.Ev pêvajoyek paqijkirinê ye, û dûv re têkevin pêvajoya kincê.Bi bandora germkirina bomberdûmanê, hin materyalên platingê diherikin.Qada plazmayê dikeve nav protonan, bi elektron û îyonên gaza bêserûber re li hev dikeve û beşek piçûk ji wan îyonîze dibin.

Prensîba lêkirina îyonên valahiya ev e: di jûreya valahiyê de, bi karanîna diyardeya derxistina gazê an jî beşa îyonîzekirî ya materyalê vaporkirî, di bin bombekirina îyonên madeya vaporkirî an îyonên gazê de, di heman demê de van maddeyên vaporkirî an reaksiyonên wan li ser substratê radikin. ji bo bidestxistina fîlimek zirav.Çêkirina ionmakîneevaporasyona valahiya, teknolojiya plazmayê û vekêşana ronahiya gazê tevlihev dike, ku ne tenê qalîteya fîlimê baştir dike, lê di heman demê de qada serîlêdana fîlimê jî berfireh dike.Awantajên vê pêvajoyê veqetandina xurt, adhesiona fîlimê ya baş, û cûrbecûr cûrbecûr materyalên nixumandinê ne.Prensîba plating ion yekem ji hêla DM Mattox ve hate pêşniyar kirin.Gelek celebên îyonê hene.Cûreya herî gelemperî germkirina evaporasyonê ye, di nav de germkirina berxwedanê, germkirina tîrêjê elektronîkî, germkirina tîrêjê elektronîkî ya plazmayê, germkirina induksiyonê ya frekansa bilind û rêbazên din ên germkirinê.