അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് മെഷീന്റെ പ്രവർത്തന തത്വം എന്താണ്

അയോൺ കോട്ടിംഗ്യന്ത്രം 1960-കളിൽ ഡിഎം മാറ്റോക്സ് നിർദ്ദേശിച്ച സിദ്ധാന്തത്തിൽ നിന്നാണ് ഉത്ഭവിച്ചത്, അതിനനുസരിച്ചുള്ള പരീക്ഷണങ്ങൾ അക്കാലത്ത് ആരംഭിച്ചു;1971 വരെ ചേമ്പേഴ്സും മറ്റുള്ളവരും ഇലക്ട്രോൺ ബീം അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ പ്രസിദ്ധീകരിച്ചു;1972-ൽ ബുൻഷാ റിപ്പോർട്ടിൽ റിയാക്ടീവ് ബാഷ്പീകരണ പ്ലേറ്റിംഗ് (എആർഇ) സാങ്കേതികവിദ്യ ചൂണ്ടിക്കാണിച്ചു, ടിസി, ടിഎൻ തുടങ്ങിയ സൂപ്പർ-ഹാർഡ് ഫിലിം തരങ്ങൾ നിർമ്മിച്ചപ്പോൾ;1972-ൽ സ്മിത്തും മോളിയും പൂശുന്ന പ്രക്രിയയിൽ പൊള്ളയായ കാഥോഡ് സാങ്കേതികവിദ്യ സ്വീകരിച്ചു.1980-കളോടെ, ചൈനയിലെ അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് ഒടുവിൽ വ്യാവസായിക ആപ്ലിക്കേഷന്റെ തലത്തിലെത്തി, വാക്വം മൾട്ടി-ആർക്ക് അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ്, ആർക്ക്-ഡിസ്ചാർജ് അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് തുടങ്ങിയ കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയകൾ തുടർച്ചയായി പ്രത്യക്ഷപ്പെട്ടു.

വാക്വം അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗിന്റെ മുഴുവൻ പ്രവർത്തന പ്രക്രിയയും ഇപ്രകാരമാണ്: ആദ്യം,അടിച്ചുകയറ്റുകവാക്വം ചേമ്പർ, തുടർന്ന്കാത്തിരിക്കുകവാക്വം മർദ്ദം 4X10 ⁻ ³ Paഅല്ലെങ്കിൽ നല്ലത്, ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് പവർ സപ്ലൈ ബന്ധിപ്പിച്ച് അടിവസ്ത്രത്തിനും ബാഷ്പീകരണത്തിനും ഇടയിൽ കുറഞ്ഞ വോൾട്ടേജ് ഡിസ്ചാർജ് വാതകത്തിന്റെ കുറഞ്ഞ താപനില പ്ലാസ്മ ഏരിയ നിർമ്മിക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്.കാഥോഡിന്റെ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് 5000V DC നെഗറ്റീവ് ഉയർന്ന വോൾട്ടേജുമായി സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഇലക്‌ട്രോഡ് ബന്ധിപ്പിക്കുക.നെഗറ്റീവ് ഗ്ലോ ഏരിയയ്ക്ക് സമീപം നിഷ്ക്രിയ വാതക അയോണുകൾ ഉണ്ടാകുന്നു.അവ കാഥോഡ് ഇരുണ്ട പ്രദേശത്ത് പ്രവേശിക്കുകയും വൈദ്യുത മണ്ഡലം ത്വരിതപ്പെടുത്തുകയും അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ബോംബെറിയുകയും ചെയ്യുന്നു.ഇതൊരു ക്ലീനിംഗ് പ്രക്രിയയാണ്, തുടർന്ന് പൂശുന്ന പ്രക്രിയയിൽ പ്രവേശിക്കുക.ബോംബ് ചൂടാക്കലിന്റെ ഫലത്തിലൂടെ, ചില പ്ലേറ്റിംഗ് വസ്തുക്കൾ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുന്നു.പ്ലാസ്മ ഏരിയ പ്രോട്ടോണുകളിലേക്ക് പ്രവേശിക്കുന്നു, ഇലക്ട്രോണുകളുമായും നിഷ്ക്രിയ വാതക അയോണുകളുമായും കൂട്ടിയിടിക്കുന്നു, അവയിൽ ഒരു ചെറിയ ഭാഗം അയോണീകരിക്കപ്പെടുന്നു, ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള ഈ അയോണൈസ്ഡ് അയോണുകൾ ഫിലിം ഉപരിതലത്തിൽ ബോംബെറിഞ്ഞ് ഫിലിം ഗുണനിലവാരം ഒരു പരിധിവരെ മെച്ചപ്പെടുത്തും.

വാക്വം അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗിന്റെ തത്വം ഇതാണ്: വാക്വം ചേമ്പറിൽ, ഗ്യാസ് ഡിസ്ചാർജ് പ്രതിഭാസം അല്ലെങ്കിൽ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട വസ്തുക്കളുടെ അയോണൈസ്ഡ് ഭാഗം ഉപയോഗിച്ച്, ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട മെറ്റീരിയൽ അയോണുകളുടെയോ വാതക അയോണുകളുടെയോ ബോംബാക്രമണത്തിന് കീഴിൽ, ഒരേസമയം ഈ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട പദാർത്ഥങ്ങളെയോ അവയുടെ പ്രതിപ്രവർത്തനങ്ങളെയോ അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുക. ഒരു നേർത്ത ഫിലിം ലഭിക്കാൻ.അയോൺ കോട്ടിംഗ്യന്ത്രംവാക്വം ബാഷ്പീകരണം, പ്ലാസ്മ ടെക്നോളജി, ഗ്യാസ് ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് എന്നിവ സംയോജിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് ഫിലിം ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുക മാത്രമല്ല, ഫിലിമിന്റെ ആപ്ലിക്കേഷൻ ശ്രേണി വികസിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.ഈ പ്രക്രിയയുടെ പ്രയോജനങ്ങൾ ശക്തമായ ഡിഫ്രാക്ഷൻ, നല്ല ഫിലിം അഡീഷൻ, വിവിധ പൂശുന്ന വസ്തുക്കൾ എന്നിവയാണ്.അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗിന്റെ തത്വം ആദ്യം നിർദ്ദേശിച്ചത് ഡിഎം മാറ്റോക്സാണ്.പല തരത്തിലുള്ള അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് ഉണ്ട്.പ്രതിരോധ ചൂടാക്കൽ, ഇലക്ട്രോൺ ബീം ചൂടാക്കൽ, പ്ലാസ്മ ഇലക്ട്രോൺ ബീം ചൂടാക്കൽ, ഉയർന്ന ആവൃത്തിയിലുള്ള ഇൻഡക്ഷൻ ചൂടാക്കൽ, മറ്റ് തപീകരണ രീതികൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടെയുള്ള ബാഷ്പീകരണ തപീകരണമാണ് ഏറ്റവും സാധാരണമായ തരം.