আয়ন আবরণমেশিন ১৯৬০-এর দশকে ডিএম ম্যাটক্সের প্রস্তাবিত তত্ত্ব থেকে এর উৎপত্তি হয় এবং সেই সময়েই সংশ্লিষ্ট পরীক্ষা-নিরীক্ষা শুরু হয়েছিল; ১৯৭১ সাল নাগাদ চেম্বার্স ও অন্যান্যরা ইলেকট্রন বিম আয়ন প্লেটিং-এর প্রযুক্তি প্রকাশ করেন; ১৯৭২ সালে বুনশাহ প্রতিবেদনে রিঅ্যাক্টিভ ইভাপোরেশন প্লেটিং (ARE) প্রযুক্তির কথা উল্লেখ করা হয়, যখন TiC এবং TiN-এর মতো অতি-কঠিন ফিল্ম তৈরি করা হয়েছিল; এছাড়াও ১৯৭২ সালে, স্মিথ এবং মলি কোটিং প্রক্রিয়ায় হলো ক্যাথোড প্রযুক্তি গ্রহণ করেন। ১৯৮০-এর দশকের মধ্যে, চীনে আয়ন প্লেটিং অবশেষে শিল্পক্ষেত্রে প্রয়োগের পর্যায়ে পৌঁছেছিল এবং ভ্যাকুয়াম মাল্টি-আর্ক আয়ন প্লেটিং ও আর্ক-ডিসচার্জ আয়ন প্লেটিং-এর মতো কোটিং প্রক্রিয়াগুলো পর্যায়ক্রমে আবির্ভূত হয়েছিল।
ভ্যাকুয়াম আয়ন প্লেটিং-এর সম্পূর্ণ কার্যপ্রণালী নিম্নরূপ: প্রথমে,পাম্পভ্যাকুয়াম চেম্বার, এবং তারপরঅপেক্ষা করুনভ্যাকুয়াম চাপ 4X10⁻³ Pa পর্যন্তঅথবা আরও ভালোসাবস্ট্রেট এবং ইভাপোরেটরের মধ্যে উচ্চ ভোল্টেজের পাওয়ার সাপ্লাই সংযোগ করা এবং নিম্ন ভোল্টেজের ডিসচার্জ গ্যাসের একটি নিম্ন তাপমাত্রার প্লাজমা অঞ্চল তৈরি করা প্রয়োজন। ক্যাথোডের গ্লো ডিসচার্জ তৈরি করার জন্য সাবস্ট্রেট ইলেকট্রোডকে ৫০০০ ভোল্ট ডিসি নেগেটিভ উচ্চ ভোল্টেজের সাথে সংযুক্ত করা হয়। নেগেটিভ গ্লো অঞ্চলের কাছে নিষ্ক্রিয় গ্যাসের আয়ন তৈরি হয়। এগুলো ক্যাথোডের অন্ধকার অঞ্চলে প্রবেশ করে এবং বৈদ্যুতিক ক্ষেত্র দ্বারা ত্বরান্বিত হয়ে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে আঘাত করে। এটি একটি পরিষ্কারকরণ প্রক্রিয়া, এবং তারপর কোটিং প্রক্রিয়ায় প্রবেশ করে। এই আঘাতের ফলে সৃষ্ট তাপের প্রভাবে কিছু প্লেটিং উপাদান বাষ্পীভূত হয়। প্লাজমা অঞ্চলে প্রবেশ করা প্রোটনগুলো ইলেকট্রন এবং নিষ্ক্রিয় গ্যাসের আয়নের সাথে সংঘর্ষে লিপ্ত হয় এবং এদের একটি ক্ষুদ্র অংশ আয়নিত হয়। এই উচ্চ শক্তির আয়নিত আয়নগুলো ফিল্মের পৃষ্ঠে আঘাত করে এবং ফিল্মের গুণমান কিছুটা উন্নত করে।
ভ্যাকুয়াম আয়ন প্লেটিং-এর মূলনীতি হলো: ভ্যাকুয়াম চেম্বারের ভেতরে, গ্যাস ডিসচার্জ প্রক্রিয়া অথবা বাষ্পীভূত পদার্থের আয়নিত অংশকে ব্যবহার করে, বাষ্পীভূত পদার্থের আয়ন বা গ্যাসীয় আয়নের আঘাতের মাধ্যমে একই সাথে এই বাষ্পীভূত পদার্থ বা এদের বিক্রিয়কসমূহকে সাবস্ট্রেটের উপর জমা করা হয়, যার ফলে একটি পাতলা আয়ন আবরণ তৈরি হয়।মেশিনভ্যাকুয়াম ইভাপোরেশন, প্লাজমা প্রযুক্তি এবং গ্যাস গ্লো ডিসচার্জের সমন্বয়ে এটি কেবল ফিল্মের গুণমানই উন্নত করে না, বরং ফিল্মের প্রয়োগের পরিসরও প্রসারিত করে। এই প্রক্রিয়ার সুবিধাগুলো হলো শক্তিশালী ডিফ্র্যাকশন, ভালো ফিল্ম অ্যাডহেশন এবং বিভিন্ন ধরনের কোটিং উপকরণ। আয়ন প্লেটিং-এর মূলনীতি সর্বপ্রথম ডিএম ম্যাটক্স প্রস্তাব করেন। আয়ন প্লেটিং অনেক প্রকারের হয়। সবচেয়ে প্রচলিত ধরন হলো ইভাপোরেশন হিটিং, যার মধ্যে রেজিস্ট্যান্স হিটিং, ইলেকট্রন বিম হিটিং, প্লাজমা ইলেকট্রন বিম হিটিং, হাই-ফ্রিকোয়েন্সি ইন্ডাকশন হিটিং এবং অন্যান্য হিটিং পদ্ধতি অন্তর্ভুক্ত।
পোস্ট করার সময়: ১৪-ফেব্রুয়ারি-২০২৩