Kanuni ya Utendaji ya Mashine ya Kuchoma Ioni ni ipi?

Mipako ya ionimashine Ilitokana na nadharia iliyopendekezwa na DM Mattox katika miaka ya 1960, na majaribio yanayolingana yalianza wakati huo; Hadi 1971, Chambers na wengine walichapisha teknolojia ya upako wa ioni za elektroni; Teknolojia ya upako wa uvukizi tendaji (ARE) ilionyeshwa katika ripoti ya Bunshah mnamo 1972, wakati aina za filamu ngumu sana kama vile TiC na TiN zilipotengenezwa; Pia mnamo 1972, Smith na Molley walitumia teknolojia ya kathodi tupu katika mchakato wa mipako. Kufikia miaka ya 1980, upako wa ioni nchini China hatimaye ulikuwa umefikia kiwango cha matumizi ya viwandani, na michakato ya mipako kama vile upako wa ioni za arc nyingi za utupu na upako wa ioni za arc-discharge zilikuwa zimeonekana mfululizo.

Mchakato mzima wa kufanya kazi kwa upako wa ioni za utupu ni kama ifuatavyo: kwanza,pampuchumba cha utupu, na kishasubirishinikizo la utupu hadi 4X10 ⁻ ³ Paau bora zaidi, ni muhimu kuunganisha usambazaji wa umeme wa volteji ya juu na kujenga eneo la plasma lenye joto la chini la gesi inayotoa volteji ya chini kati ya substrate na evaporator. Unganisha elektrodi ya substrate na volteji ya juu hasi ya 5000V DC ili kuunda kutokwa kwa mwanga wa kathodi. Ioni za gesi isiyoingia huzalishwa karibu na eneo la mwanga hasi. Zinaingia kwenye eneo la giza la kathodi na huharakishwa na uwanja wa umeme na kushambulia uso wa substrate. Huu ni mchakato wa kusafisha, na kisha kuingia kwenye mchakato wa mipako. Kupitia athari ya kupasha joto kwa bombardment, baadhi ya vifaa vya kuwekea plating huvukizwa. Eneo la plasma huingia kwenye protoni, hugongana na elektroni na ioni za gesi isiyoingia, na sehemu ndogo yao hubadilishwa kuwa ioni. Ioni hizi za ioni zenye nishati ya juu zitashambulia uso wa filamu na kuboresha ubora wa filamu kwa kiasi fulani.

Kanuni ya upako wa ioni za utupu ni: katika chumba cha utupu, kwa kutumia uzushi wa kutokwa kwa gesi au sehemu ya ioni ya nyenzo zilizovukizwa, chini ya mlipuko wa ioni za nyenzo zilizovukizwa au ioni za gesi, huweka vitu hivi vilivyovukizwa au vitendanishi vyake kwenye sehemu ya chini ya ardhi ili kupata filamu nyembamba. Mipako ya ionimashineInachanganya uvukizi wa utupu, teknolojia ya plasma na utoaji wa mwanga wa gesi, ambayo sio tu inaboresha ubora wa filamu, lakini pia hupanua wigo wa matumizi wa filamu. Faida za mchakato huu ni uenezaji mkubwa wa mtawanyiko, mshikamano mzuri wa filamu, na vifaa mbalimbali vya mipako. Kanuni ya upako wa ioni ilipendekezwa kwanza na DM Mattox. Kuna aina nyingi za upako wa ioni. Aina ya kawaida ni upako wa uvukizi, ikiwa ni pamoja na upako wa upinzani, upako wa boriti ya elektroni, upako wa boriti ya elektroni ya plasma, upako wa induction wa masafa ya juu na njia zingine za upako.