Пӯшиши ионӣмошин аз назарияи пешниҳодкардаи Д.М. Маттокс дар солҳои 1960 сарчашма гирифта, таҷрибаҳои мувофиқ дар он вақт оғоз ёфтанд; То соли 1971, Чемберс ва дигарон технологияи пӯшонидани ионии шуоъи электрониро нашр карданд; Технологияи пӯшонидани бухоршавии реактивӣ (ARE) дар гузориши Буншах дар соли 1972 қайд карда шуд, вақте ки намудҳои плёнкаҳои хеле сахт ба монанди TiC ва TiN истеҳсол карда шуданд; Ҳамчунин дар соли 1972, Смит ва Молли технологияи катоди холӣ дар раванди пӯшонидани пӯлодро қабул карданд. То солҳои 1980, пӯшонидани ион дар Чин ниҳоят ба сатҳи татбиқи саноатӣ расид ва равандҳои пӯшонидани пӯлоди бисёрқамравии ионии вакуумӣ ва пӯшонидани ионии камоншакл пайдарпай пайдо шуданд.
Тамоми раванди кории пӯшонидани ионии вакуумӣ чунин аст: аввал,насоскамераи вакуумӣ ва сипасинтизор шуданфишори вакуумӣ ба 4X10 ⁻³ Паё беҳтар, зарур аст, ки манбаи барқи баландшиддатро пайваст кунед ва минтақаи плазмавии ҳарорати пасти гази разряди пастро байни субстрат ва бухоркунанда созед. Электроди субстратро бо шиддати баланди манфии 5000V DC пайваст кунед, то разряди дурахшони катодро ташкил диҳед. Ионҳои гази инертӣ дар наздикии минтақаи дурахши манфӣ ба вуҷуд меоянд. Онҳо ба минтақаи торикии катод ворид мешаванд ва аз ҷониби майдони электрикӣ суръат мегиранд ва сатҳи субстратро бомбаборон мекунанд. Ин раванди тозакунӣ аст ва сипас ба раванди пӯшиш ворид мешавад. Тавассути таъсири гармкунии бомбаборонкунӣ, баъзе маводҳои рӯйпӯш бухор мешаванд. Минтақаи плазма ба протонҳо ворид мешавад, бо электронҳо ва ионҳои гази инертӣ бархӯрд мекунад ва қисми ками онҳо ионизатсия мешаванд. Ин ионҳои ионизатсияшуда бо энергияи баланд сатҳи плёнкаро бомбаборон мекунанд ва сифати плёнкаро то андозае беҳтар мекунанд.
Принсипи пӯшиши ионии вакуумӣ чунин аст: дар камераи вакуумӣ, бо истифода аз падидаи ихроҷи газ ё қисми ионшудаи маводи бухоршуда, таҳти бомбаборони ионҳои маводи бухоршуда ё ионҳои газ, ҳамзамон ин моддаҳои бухоршуда ё реактивҳои онҳоро дар рӯи субстрат ҷойгир кунед, то як плёнкаи тунук ба даст оред. Пӯшиши ионӣмошинбухоршавии вакуумӣ, технологияи плазма ва разряди газро муттаҳид мекунад, ки на танҳо сифати филмро беҳтар мекунад, балки доираи татбиқи филмро низ васеъ мекунад. Бартариҳои ин раванд дифракцияи қавӣ, часпиши хуби филм ва маводҳои гуногуни рӯйпӯшкунӣ мебошанд. Принсипи рӯйпӯшкунии ионӣ бори аввал аз ҷониби DM Mattox пешниҳод шудааст. Намудҳои зиёди рӯйпӯшкунии ионӣ мавҷуданд. Навъи маъмултарин гармкунии бухоршавӣ мебошад, ки гармкунии муқовимат, гармкунии шуоъи электронӣ, гармкунии шуоъи электронии плазма, гармкунии индуксионии басомади баланд ва дигар усулҳои гармкуниро дар бар мегирад.
Вақти нашр: 14 феврали соли 2023