Пӯшидани ионмошин аз назарияи пешнињодкардаи Д.М. Маттокс дар солњои 1960 сарчашма гирифта, таҷрибањои дахлдор дар њамон ваќт сар шуданд;Чемберс ва дигарон то соли 1971 технологиям ионии шуоъхои электрониро чоп карданд;Технологияи қабати реактивии бухоршавӣ (ARE) дар гузориши Буншах дар соли 1972, вақте ки навъҳои плёнкаи хеле сахт ба монанди TiC ва TiN истеҳсол карда шуданд, қайд карда шуд;Инчунин дар соли 1972, Смит ва Молли технологияи катодро дар раванди пӯшиш қабул карданд.То солҳои 1980-ум, пластинкаи ион дар Чин ниҳоят ба сатҳи татбиқи саноатӣ расид ва равандҳои пӯшиш ба монанди ионҳои вакуумӣ ва разряди ионҳои камон пайдо шуданд.
Тамоми раванди кории пластинкаи ионҳои вакуумӣ чунин аст: аввал,насоскамераи вакуумй ва баъдинтизор шаведфишори вакуум ба 4X10 ⁻ ³ Паё беҳтар, барои пайваст кардани энергияи баландшиддат ва сохтани майдони пасти плазмаи разряди гази шиддати паст дар байни субстрат ва бухоркунанда зарур аст.Электроди субстратро бо шиддати баланди манфии 5000В DC пайваст кунед, то разряди дурахши катодро ба вуҷуд оред.Ионҳои гази инертӣ дар наздикии минтақаи дурахши манфӣ тавлид мешаванд.Онҳо ба минтақаи торикии катод дохил мешаванд ва тавассути майдони электрикӣ суръат мегиранд ва сатҳи субстратро бомбаборон мекунанд.Ин раванди тозакунӣ аст, ва он гоҳ ба раванди молидани ворид кунед.Тавассути таъсири гармидиҳии бомбаборон, баъзе маводи пӯшиш бухор мешаванд.Майдони плазма ба протонхо дохил шуда, бо электронхо ва ионхои гази инертй бархурда, як кисми ками онхо ионизатсия мешаванд, Ин ионхои иононидашуда бо энергияи баланд сатхи плёнкаро бомбаборон мекунанд ва сифати плёнкаро то андозае бехтар мекунанд.
Принсипи печонидани ионҳои вакуумӣ ин аст: дар камераи вакуумӣ бо истифода аз падидаи разряди газ ё қисми ионизатсияшудаи маводи бухоршуда, дар зери бомбаборони маводи бухоршуда ионҳо ё ионҳои газ, дар як вақт ин моддаҳои бухоршуда ё реактивҳои онҳоро дар рӯи замин ҷойгир мекунанд. барои гирифтани плёнкаи тунук.Пӯшидани ионмошинбухоркунии вакуумй, технологияи плазма ва разряди газро ба хам мепайвандад, ки ин на танхо сифати плёнкаро бехтар мекунад, балки доираи истифодаи плёнкаро васеъ мекунад.Афзалиятҳои ин раванд дифраксияи қавӣ, адгезияи хуби плёнка ва маводи гуногуни рӯйпӯш мебошанд.Принсипи ионпӯшкунии ионро бори аввал ДМ Маттокс пешниҳод кардааст.Намудҳои зиёди ионпӯшкунӣ мавҷуданд.Навъи маъмултарини гармидиҳии бухоршавӣ, аз ҷумла гармкунии муқовимат, гармкунии чӯби электронӣ, гармкунии шуои электронии плазма, гармкунии индуксионии баландбасомад ва дигар усулҳои гармкунӣ мебошад.
Вақти фиристодан: феврал-14-2023