Ion ti a boẹrọ ti ipilẹṣẹ lati imọran ti a dabaa nipasẹ DM Mattox ni awọn ọdun 1960, ati awọn adanwo ti o baamu bẹrẹ ni akoko yẹn;Titi di ọdun 1971, Awọn ile-iyẹwu ati awọn miiran ṣe atẹjade imọ-ẹrọ ti fifin ion tan ina elekitironi;Imọ ọna ẹrọ evaporation evaporation (ARE) ni a tọka si ninu ijabọ Bunshah ni ọdun 1972, nigbati awọn iru fiimu ti o lagbara-lile bii TiC ati TiN ti ṣejade;Paapaa ni ọdun 1972, Smith ati Molley gba imọ-ẹrọ cathode ti o ṣofo ni ilana ibora.Ni awọn ọdun 1980, ion plating ni Ilu China ti de ipele ohun elo ile-iṣẹ nikẹhin, ati awọn ilana ti a bo gẹgẹbi igbale olona-arc ion plating ati arc-discharge ion plating ti han ni itẹlera.
Gbogbo ilana iṣẹ ti fifin ion igbale jẹ bi atẹle: akọkọ,fifa sokeiyẹwu igbale, ati lẹhinnadurotitẹ igbale si 4X10 ⁻ ³ Patabi dara julọ, o jẹ pataki lati so awọn ga foliteji ipese agbara ki o si kọ kan kekere otutu pilasima agbegbe ti kekere foliteji yosita gaasi laarin awọn sobusitireti ati awọn evaporator.So sobusitireti elekiturodu pẹlu 5000V DC odi ga foliteji lati fẹlẹfẹlẹ kan ti alábá yosita ti awọn cathode.Awọn ions gaasi inert wa ni ipilẹṣẹ nitosi agbegbe didan odi.Wọn wọ inu agbegbe dudu cathode ati pe wọn yara nipasẹ aaye ina ati bombard dada ti sobusitireti naa.Eyi jẹ ilana mimọ, lẹhinna tẹ ilana ti a bo.Nipasẹ ipa ti igbona bombardment, diẹ ninu awọn ohun elo fifin jẹ vaporized.Agbegbe pilasima wọ inu awọn protons, kọlu pẹlu awọn elekitironi ati awọn ions gaasi inert, ati apakan kekere kan ninu wọn jẹ ionized, Awọn ions ionized wọnyi pẹlu agbara giga yoo bombard dada fiimu ati mu didara fiimu dara si iwọn diẹ.
Ilana ti fifin ion igbale jẹ: ninu iyẹwu igbale, ni lilo iṣẹlẹ isọjade gaasi tabi apakan ionized ti ohun elo ti o ni ifunmọ, labẹ bombardment ti awọn ions ohun elo vaporized tabi awọn ions gaasi, ni igbakanna fi awọn nkan ti o nwa tabi awọn ifaseyin wọn sori sobusitireti. lati gba fiimu tinrin.Awọn ion ti a boẹrọdaapọ evaporation igbale, imọ-ẹrọ pilasima ati isunjade glow gaasi, eyiti kii ṣe ilọsiwaju didara fiimu nikan, ṣugbọn tun gbooro ibiti ohun elo ti fiimu naa.Awọn anfani ti ilana yii jẹ diffraction ti o lagbara, adhesion fiimu ti o dara, ati awọn ohun elo ti o yatọ.Ilana ti ion plating ni akọkọ dabaa nipasẹ DM Mattox.Ọpọlọpọ awọn iru ti ion plating wa.Iru ti o wọpọ julọ jẹ alapapo evaporation, pẹlu alapapo resistance, alapapo elekitironi, alapapo elekitironi pilasima, alapapo fifa irọbi giga-giga ati awọn ọna alapapo miiran.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹta-14-2023