Àwọ̀ ionẹrọ Láti inú èrò tí DM Mattox dábàá ní àwọn ọdún 1960, àwọn àyẹ̀wò tó báramu sì bẹ̀rẹ̀ ní àkókò náà; Títí di ọdún 1971, Chambers àti àwọn mìíràn tẹ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìpara ion oníná elektroniki jáde; A tọ́ka sí ìmọ̀ ẹ̀rọ ìpara evaporation plating (ARE) nínú ìròyìn Bunshah ní ọdún 1972, nígbà tí wọ́n ṣe àwọn irú fíìmù líle bíi TiC àti TiN; Bákan náà ní ọdún 1972, Smith àti Molley gba ìmọ̀ ẹ̀rọ cathode oníhò nínú ìlànà ìpara. Ní àwọn ọdún 1980, ìpara ion ní China ti dé ìpele ìlò ilé-iṣẹ́, àwọn ìlànà ìpara bíi ìpara ion onípele onípele àti ìpara ion onípele arc-discharge ti farahàn ní ìtẹ̀léra.
Gbogbo ilana iṣẹ ti fifi ion vacuum silẹ jẹ bi atẹle: akọkọ,ẹ̀rọ fifayàrá ìfọṣọ, lẹ́yìn náàdurotitẹ afẹ́fẹ́ sí 4X10 ⁻ ³ Patabi dara julọ, ó ṣe pàtàkì láti so agbára ìpèsè agbára oníná gíga pọ̀ kí o sì kọ́ agbègbè plasma tí ó ní ìwọ̀n otútù díẹ̀ tí ó ní gaasi ìtújáde fólítì kékeré láàárín substrate àti evaporator. So elekitirodu substrate náà pọ̀ mọ́ folítì gíga 5000V DC láti ṣẹ̀dá ìtújáde ìmọ́lẹ̀ ti cathode. Àwọn ion gaasi aláìlágbára ni a ń ṣẹ̀dá nítòsí agbègbè ìmọ́lẹ̀ àìlágbára. Wọ́n wọ inú agbègbè òkùnkùn cathode, pápá iná mànàmáná sì ń yára sí i, wọ́n sì ń bo ojú ilẹ̀ substrate náà. Èyí jẹ́ ìlànà ìwẹ̀nùmọ́, lẹ́yìn náà wọ́n wọ inú ìlànà ìbòrí. Nípasẹ̀ ipa ìgbóná bolítì, àwọn ohun èlò ìbòrí kan ni a ń yọ́. Agbègbè plasma náà wọ inú àwọn proton, ó ń bá àwọn elekitironi àti àwọn ion gaasi aláìlágbára jà, àti pé apá kékeré nínú wọn ni a ń yọ́. Àwọn ion tí a ti yọ́ yí pẹ̀lú agbára gíga yóò bo ojú fíìmù náà, yóò sì mú kí dídára fíìmù náà sunwọ̀n sí i dé ìwọ̀n kan.
Ìlànà ìbòrí ion vacuum ni: Nínú yàrá vacuum, nípa lílo ìṣẹ̀lẹ̀ ìtújáde gaasi tàbí apá ionized ti ohun èlò vaporized, lábẹ́ ìbọn àwọn ion tàbí ion gas tí a ti pa, wọ́n máa ń kó àwọn ohun èlò vaporized wọ̀nyí tàbí àwọn reactants wọn sí orí substrate láti rí fíìmù tín-ín-rín kan.ẹrọÓ so ìtújáde omi ìfọ́, ìmọ̀ ẹ̀rọ plasma àti ìtújáde glow gaasi pọ̀, èyí tí kìí ṣe pé ó mú kí dídára fíìmù náà sunwọ̀n síi nìkan, ṣùgbọ́n ó tún ń mú kí ibi tí fíìmù náà wà fẹ̀ síi. Àwọn àǹfààní ìlànà yìí ni ìyípadà tó lágbára, ìdènà fíìmù tó dára, àti onírúurú ohun èlò ìbòrí. DM Mattox ló kọ́kọ́ dábàá ìlànà ìtújáde ion plating. Ọ̀pọ̀lọpọ̀ irú ìtújáde ion plating ló wà. Irú èyí tó wọ́pọ̀ jùlọ ni ìtújáde evaporation, títí kan ìtújáde resistance heating, electron beam heating, plasma electron beam heating, high-frequency induction heating àti àwọn ọ̀nà ìgbóná mìíràn.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Feb-14-2023