Cotio Ionpeiriant yn tarddu o'r ddamcaniaeth a gynigiwyd gan DM Mattox yn y 1960au, a dechreuodd arbrofion cyfatebol bryd hynny;Hyd at 1971, cyhoeddodd Chambers ac eraill y dechnoleg platio ïon trawst electron;Tynnwyd sylw at y dechnoleg platio anweddu adweithiol (ARE) yn adroddiad Bunshah ym 1972, pan gynhyrchwyd mathau o ffilmiau hynod galed fel TiC a TiN;Hefyd ym 1972, mabwysiadodd Smith a Molley y dechnoleg catod gwag yn y broses cotio.Erbyn yr 1980au, roedd y platio ïon yn Tsieina o'r diwedd wedi cyrraedd lefel y cymhwysiad diwydiannol, ac roedd y prosesau cotio fel platio ïon aml-arc gwactod a phlatio ïon rhyddhau arc wedi ymddangos yn olynol.
Mae'r broses waith gyfan o blatio ïon gwactod fel a ganlyn: yn gyntaf,pwmpy siambr wactod, ac ynaarosy pwysedd gwactod i 4X10 ⁻ ³ Paneu well, mae angen cysylltu'r cyflenwad pŵer foltedd uchel ac adeiladu ardal plasma tymheredd isel o nwy rhyddhau foltedd isel rhwng y swbstrad a'r anweddydd.Cysylltwch yr electrod swbstrad â foltedd uchel negyddol 5000V DC i ffurfio gollyngiad glow o'r catod.Cynhyrchir ïonau nwy anadweithiol ger yr ardal glow negyddol.Maent yn mynd i mewn i'r ardal dywyll catod ac yn cael eu cyflymu gan y maes trydan ac yn peledu wyneb y swbstrad.Mae hon yn broses lanhau, ac yna mynd i mewn i'r broses cotio.Trwy effaith gwresogi peledu, mae rhai deunyddiau platio yn cael eu hanweddu.Mae'r ardal plasma yn mynd i mewn i'r protonau, yn gwrthdaro ag electronau ac ïonau nwy anadweithiol, ac mae rhan fach ohonynt wedi'u ïoneiddio, Bydd yr ïonau ïoneiddiedig hyn ag egni uchel yn peledu wyneb y ffilm ac yn gwella ansawdd y ffilm i ryw raddau.
Egwyddor platio ïon gwactod yw: yn y siambr gwactod, gan ddefnyddio'r ffenomen rhyddhau nwy neu'r rhan ïoneiddiedig o'r deunydd anweddedig, o dan beledu'r ïonau deunydd anweddedig neu ïonau nwy, ar yr un pryd adneuo'r sylweddau anwedd hyn neu eu hadweithyddion ar y swbstrad i gael ffilm denau.Y cotio ïonpeiriantyn cyfuno anweddiad gwactod, technoleg plasma a rhyddhau glow nwy, sydd nid yn unig yn gwella ansawdd y ffilm, ond hefyd yn ehangu ystod cymhwyso'r ffilm.Manteision y broses hon yw diffreithiant cryf, adlyniad ffilm da, a deunyddiau cotio amrywiol.Cynigiwyd egwyddor platio ïon gyntaf gan DM Mattox.Mae yna lawer o fathau o blatio ïon.Y math mwyaf cyffredin yw gwresogi anweddiad, gan gynnwys gwresogi gwrthiant, gwresogi trawst electron, gwresogi pelydr electron plasma, gwresogi sefydlu amledd uchel a dulliau gwresogi eraill.
Amser post: Chwefror-14-2023