iyon kaplamamakine 1960'larda DM Mattox tarafından önerilen teoriden kaynaklandı ve ilgili deneyler o sırada başladı;1971 yılına kadar, Chambers ve diğerleri elektron ışını iyon kaplama teknolojisini yayınladılar;Reaktif buharlaştırma kaplama (ARE) teknolojisi, TiC ve TiN gibi süper sert film türlerinin üretildiği 1972'deki Bunshah raporunda belirtilmiştir;Yine 1972'de Smith ve Molley, kaplama işleminde içi boş katot teknolojisini benimsedi.1980'lere gelindiğinde, Çin'deki iyon kaplama nihayet endüstriyel uygulama düzeyine ulaştı ve arka arkaya vakumlu çoklu ark iyon kaplama ve ark deşarjlı iyon kaplama gibi kaplama işlemleri ortaya çıktı.
Vakumlu iyon kaplamanın tüm çalışma süreci aşağıdaki gibidir: ilk olarak,pompavakum odası ve ardındanBeklemekvakum basıncı 4X10 ⁻ ³ Paya da daha iyisi, yüksek voltajlı güç kaynağını bağlamak ve alt tabaka ile buharlaştırıcı arasında düşük voltajlı deşarj gazının düşük sıcaklıkta bir plazma alanını oluşturmak gereklidir.Katodun akkor deşarjını oluşturmak için alt tabaka elektrodunu 5000V DC negatif yüksek voltajla bağlayın.İnert gaz iyonları, negatif ışıma alanının yakınında üretilir.Katot karanlık alanına girerler ve elektrik alan tarafından hızlandırılırlar ve substratın yüzeyini bombalarlar.Bu bir temizleme işlemidir ve ardından kaplama işlemine girilir.Bombardıman ısıtmasının etkisiyle bazı kaplama malzemeleri buharlaşır.Plazma alanı protonlara girer, elektronlar ve inert gaz iyonları ile çarpışır ve bunların küçük bir kısmı iyonize olur. Yüksek enerjili bu iyonize iyonlar film yüzeyini bombalayacak ve film kalitesini bir ölçüde iyileştirecektir.
Vakumlu iyon kaplamanın prensibi şudur: vakum odasında, gaz boşaltma olgusunu veya buharlaştırılmış malzemenin iyonize kısmını kullanarak, buharlaştırılmış malzeme iyonlarının veya gaz iyonlarının bombardımanı altında, bu buharlaşmış maddeleri veya bunların reaktanlarını aynı anda substrat üzerinde biriktirir. ince bir film elde etmek içiniyon kaplamamakinesadece film kalitesini iyileştirmekle kalmayıp aynı zamanda filmin uygulama aralığını da genişleten vakumlu buharlaştırma, plazma teknolojisi ve gaz ışıma deşarjını birleştirir.Bu işlemin avantajları, güçlü kırınım, iyi film yapışması ve çeşitli kaplama malzemeleridir.İyon kaplama ilkesi ilk olarak DM Mattox tarafından önerildi.Birçok çeşit iyon kaplama vardır.En yaygın tip, dirençli ısıtma, elektron ışını ısıtması, plazma elektron ışını ısıtması, yüksek frekanslı indüksiyonlu ısıtma ve diğer ısıtma yöntemlerini içeren buharlaştırmalı ısıtmadır.
Gönderim zamanı: 14 Şubat 2023