Jonų dangamašina kilo iš teorijos, kurią septintajame dešimtmetyje pasiūlė DM Mattox, ir tuo metu prasidėjo atitinkami eksperimentai;Iki 1971 m. Chambers ir kiti paskelbė elektronų pluošto jonų padengimo technologiją;Reaktyviosios garinimo dengimo (ARE) technologija buvo nurodyta Bunshah ataskaitoje 1972 m., kai buvo gaminamos ypač kietos plėvelės, tokios kaip TiC ir TiN;Taip pat 1972 m. Smithas ir Molley dengimo procese panaudojo tuščiavidurio katodo technologiją.Iki devintojo dešimtmečio jonų dengimas Kinijoje pagaliau pasiekė pramoninio pritaikymo lygį, o dengimo procesai, tokie kaip vakuuminis kelių lankų jonų dengimas ir lanko iškrovos jonų dengimas, atsirado paeiliui.
Visas vakuuminio jonų dengimo procesas yra toks: pirma,siurblysvakuuminę kamerą ir tadalauktivakuuminį slėgį iki 4X10⁻ ³ Paarba geriau, būtina prijungti aukštos įtampos maitinimo šaltinį ir tarp pagrindo ir garintuvo sukurti žemos temperatūros plazmos zoną iš žemos įtampos išlydžio dujų.Prijunkite pagrindo elektrodą su 5000 V nuolatinės srovės neigiama aukšta įtampa, kad susidarytų katodo švytėjimo išlydis.Netoli neigiamo švytėjimo srities susidaro inertinių dujų jonai.Jie patenka į katodo tamsiąją zoną ir yra pagreitinami elektrinio lauko ir bombarduoja pagrindo paviršių.Tai yra valymo procesas, tada įeikite į dengimo procesą.Dėl bombardavimo šildymo kai kurios dengimo medžiagos išgaruoja.Plazmos plotas patenka į protonus, susiduria su elektronais ir inertinių dujų jonais, o nedidelė jų dalis jonizuojasi. Šie didelės energijos jonizuoti jonai bombarduos plėvelės paviršių ir tam tikru mastu pagerins plėvelės kokybę.
Vakuuminio jonų dengimo principas yra toks: vakuuminėje kameroje, naudojant dujų išleidimo reiškinį arba jonizuotą išgarintos medžiagos dalį, bombarduojant išgaravusios medžiagos jonus arba dujų jonus, tuo pačiu metu šias išgarintas medžiagas arba jų reagentus nusodinti ant pagrindo. gauti ploną plėvelę.Jonų dangamašinasujungia vakuuminį garinimą, plazmos technologiją ir dujų švytėjimo išlydį, kas ne tik pagerina plėvelės kokybę, bet ir išplečia plėvelės pritaikymo spektrą.Šio proceso privalumai – stipri difrakcija, geras plėvelės sukibimas, įvairios dengimo medžiagos.Jonų dengimo principą pirmą kartą pasiūlė DM Mattox.Yra daugybė jonų dengimo rūšių.Labiausiai paplitęs tipas yra garinimo šildymas, įskaitant pasipriešinimo šildymą, elektronų pluošto šildymą, plazminį elektronų pluošto šildymą, aukšto dažnio indukcinį kaitinimą ir kitus šildymo būdus.
Paskelbimo laikas: 2023-02-14