ການເຄືອບໄອອອນເຄື່ອງຈັກ ມີຕົ້ນກຳເນີດມາຈາກທິດສະດີທີ່ສະເໜີໂດຍ DM Mattox ໃນຊຸມປີ 1960, ແລະການທົດລອງທີ່ສອດຄ້ອງກັນໄດ້ເລີ່ມຕົ້ນໃນເວລານັ້ນ; ຈົນຮອດປີ 1971, Chambers ແລະ ຜູ້ອື່ນໆໄດ້ເຜີຍແຜ່ເຕັກໂນໂລຊີການຊຸບໄອອອນລຳແສງເອເລັກຕຣອນ; ເຕັກໂນໂລຊີການຊຸບລະເຫີຍປະຕິກິລິຍາ (ARE) ໄດ້ຖືກຊີ້ໃຫ້ເຫັນໃນບົດລາຍງານ Bunshah ໃນປີ 1972, ເມື່ອປະເພດຟິມແຂງພິເສດເຊັ່ນ TiC ແລະ TiN ໄດ້ຖືກຜະລິດ; ນອກຈາກນີ້ໃນປີ 1972, Smith ແລະ Molley ໄດ້ຮັບຮອງເອົາເຕັກໂນໂລຊີແຄໂທດກົ່ງໃນຂະບວນການເຄືອບ. ຮອດຊຸມປີ 1980, ການຊຸບໄອອອນໃນປະເທດຈີນໄດ້ບັນລຸລະດັບການນຳໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳໃນທີ່ສຸດ, ແລະຂະບວນການເຄືອບເຊັ່ນ: ການຊຸບໄອອອນຫຼາຍອາກສູນຍາກາດ ແລະ ການຊຸບໄອອອນແບບປ່ອຍໄຟຟ້າອາກໄດ້ປະກົດຕົວຂຶ້ນຕາມລຳດັບ.
ຂະບວນການເຮັດວຽກທັງໝົດຂອງການຊຸບໄອອອນສູນຍາກາດແມ່ນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້: ທໍາອິດ,ປໍ້າຫ້ອງສູນຍາກາດ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນລໍຖ້າຄວາມດັນສູນຍາກາດເຖິງ 4X10 ⁻ ³ Paຫຼືດີກວ່າ, ມັນຈຳເປັນຕ້ອງເຊື່ອມຕໍ່ແຫຼ່ງພະລັງງານແຮງດັນສູງ ແລະ ສ້າງພື້ນທີ່ປລາສມາທີ່ມີອຸນຫະພູມຕ່ຳຂອງອາຍແກັສປ່ອຍແຮງດັນຕ່ຳລະຫວ່າງຊັ້ນຮອງພື້ນ ແລະ ເຄື່ອງລະເຫີຍ. ເຊື່ອມຕໍ່ເອເລັກໂຕຣດຊັ້ນຮອງພື້ນກັບແຮງດັນສູງລົບ 5000V DC ເພື່ອສ້າງການປ່ອຍແສງຂອງແຄໂທດ. ໄອອອນອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາຖືກສ້າງຂຶ້ນໃກ້ກັບພື້ນທີ່ແສງລົບ. ພວກມັນເຂົ້າສູ່ພື້ນທີ່ມືດແຄໂທດ ແລະ ຖືກເລັ່ງໂດຍສະໜາມໄຟຟ້າ ແລະ ລະເບີດໃສ່ພື້ນຜິວຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ. ນີ້ແມ່ນຂະບວນການທຳຄວາມສະອາດ, ແລະ ຈາກນັ້ນເຂົ້າສູ່ຂະບວນການເຄືອບ. ຜ່ານຜົນກະທົບຂອງຄວາມຮ້ອນດ້ວຍການລະເບີດ, ວັດສະດຸເຄືອບບາງຊະນິດຈະຖືກລະເຫີຍ. ພື້ນທີ່ປລາສມາເຂົ້າສູ່ໂປຣຕອນ, ປະທະກັບເອເລັກຕຣອນ ແລະ ໄອອອນອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ແລະ ສ່ວນນ້ອຍໆຂອງພວກມັນຖືກໄອອອນ, ໄອອອນໄອອອນທີ່ມີພະລັງງານສູງເຫຼົ່ານີ້ຈະລະເບີດໃສ່ພື້ນຜິວຂອງຟິມ ແລະ ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຟິມໃນລະດັບໜຶ່ງ.
ຫຼັກການຂອງການຊຸບໄອອອນສູນຍາກາດແມ່ນ: ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ, ໂດຍໃຊ້ປະກົດການປ່ອຍອາຍແກັສ ຫຼື ສ່ວນໄອອອນຂອງວັດສະດຸທີ່ລະເຫີຍ, ພາຍໃຕ້ການລະເບີດຂອງໄອອອນວັດສະດຸທີ່ລະເຫີຍ ຫຼື ໄອອອນອາຍແກັສ, ພ້ອມໆກັນວາງສານທີ່ລະເຫີຍເຫຼົ່ານີ້ ຫຼື ສານຕັ້ງຕົ້ນຂອງມັນໃສ່ຊັ້ນຮອງພື້ນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຟິມບາງໆ. ການຊຸບໄອອອນເຄື່ອງຈັກປະສົມປະສານການລະເຫີຍສູນຍາກາດ, ເຕັກໂນໂລຊີພລາສມາ ແລະ ການປ່ອຍແສງອາຍແກັສ, ເຊິ່ງບໍ່ພຽງແຕ່ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຟິມເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງຂະຫຍາຍຂອບເຂດການນຳໃຊ້ຂອງຟິມ. ຂໍ້ດີຂອງຂະບວນການນີ້ແມ່ນການຫັກເຫທີ່ແຂງແຮງ, ການຍຶດຕິດຂອງຟິມທີ່ດີ, ແລະ ວັດສະດຸເຄືອບຕ່າງໆ. ຫຼັກການຂອງການຊຸບໄອອອນໄດ້ຖືກສະເໜີໂດຍ DM Mattox ເປັນຄັ້ງທຳອິດ. ມີການຊຸບໄອອອນຫຼາຍຊະນິດ. ປະເພດທີ່ພົບເລື້ອຍທີ່ສຸດແມ່ນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນດ້ວຍການລະເຫີຍ, ລວມທັງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແບບຕ້ານທານ, ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນດ້ວຍລຳແສງເອເລັກຕຣອນ, ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນດ້ວຍລຳແສງເອເລັກຕຣອນພລາສມາ, ການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນດ້ວຍກະແສໄຟຟ້າຄວາມຖີ່ສູງ ແລະ ວິທີການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນອື່ນໆ.
ເວລາໂພສ: ວັນທີ 14 ກຸມພາ 2023