የአዮን ፕላቲንግ ማሽን የአሠራር መርህ ምንድን ነው?

የአዮን ሽፋንማሽን በ1960ዎቹ በዲኤም ማቶክስ ከቀረበው ንድፈ ሐሳብ የመነጨ ሲሆን ተዛማጅ ሙከራዎችም በዚያን ጊዜ ተጀምረዋል፤ እስከ 1971 ድረስ ቻምበርስ እና ሌሎችም የኤሌክትሮን ጨረር አዮን ፕላቲንግ ቴክኖሎጂን አሳትመዋል፤ እንደ ቲሲ እና ቲኤን ያሉ እጅግ በጣም ጠንካራ የፊልም ዓይነቶች ሲመረቱ የሪአክቲቭ ኢቫፖቲንግ ፕላቲንግ (ARE) ቴክኖሎጂ በ1972 በቡንሻህ ሪፖርት ላይ ጠቁሟል፤ እንዲሁም በ1972 ስሚዝ እና ሞሊ በሽፋን ሂደቱ ውስጥ የሆሎው ካቶድ ቴክኖሎጂን ተቀበሉ። በ1980ዎቹ፣ በቻይና የነበረው የአዮን ፕላቲንግ በመጨረሻ የኢንዱስትሪ አተገባበር ደረጃ ላይ ደርሶ ነበር፣ እና እንደ ቫክዩም ባለብዙ-አርክ አዮን ፕላቲንግ እና አርክ-ፈሳሽ አዮን ፕላቲንግ ያሉ የሽፋን ሂደቶች በተከታታይ ታይተዋል።

የቫክዩም አዮን ሽፋን አጠቃላይ የሥራ ሂደት እንደሚከተለው ነው፡- በመጀመሪያ፣ፓምፕየቫክዩም ክፍሉ፣ እና ከዚያጠብቅየቫክዩም ግፊት ወደ 4X10⁻ ³ ​​ፓወይም የተሻለከፍተኛ ቮልቴጅ ያለው የኃይል አቅርቦትን ማገናኘት እና ዝቅተኛ የቮልቴጅ ፈሳሽ ጋዝ በንዑስ ክፍል እና በማትነን መካከል ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ያለው የፕላዝማ ቦታ መገንባት አስፈላጊ ነው። የንዑስ ክፍል ኤሌክትሮዱን ከ5000V ዲሲ አሉታዊ ከፍተኛ ቮልቴጅ ጋር ያገናኙት እና የካቶድ ፍላት ይፈጥራል። ኢንኢርት የጋዝ አየኖች በአሉታዊ ፍላት አካባቢ ይፈጠራሉ። ወደ ካቶድ ጨለማ ቦታ ይገባሉ እና በኤሌክትሪክ መስክ ይጣደፋሉ እና የንዑስ ክፍልን ይደበድባሉ። ይህ የጽዳት ሂደት ነው፣ እና ከዚያም ወደ ሽፋን ሂደት ይገባሉ። በቦምብ ማሞቂያ ውጤት፣ አንዳንድ የፕላቲንግ ቁሳቁሶች ይተንፋሉ። የፕላዝማ ቦታ ወደ ፕሮቶኖች ይገባል፣ ከኤሌክትሮኖች እና ከኢነርት ጋዝ አየኖች ጋር ይጋጫል፣ እና ትንሽ ክፍል አዮናይዝድ ነው። እነዚህ ከፍተኛ ኃይል ያላቸው አዮናይዝድ አየኖች የፊልሙን ወለል ያወድማሉ እና የፊልም ጥራትን በተወሰነ ደረጃ ያሻሽላሉ።

የቫክዩም አዮን ሽፋን መርህ፡- በቫክዩም ክፍሉ ውስጥ፣ የጋዝ ፈሳሽ ክስተትን ወይም የተተነፈውን ቁሳቁስ አዮናዊ ክፍል በመጠቀም፣ የተተነፈውን ቁሳቁስ አዮኖች ወይም የጋዝ አዮኖችን በቦምብ ድብደባ ስር፣ እነዚህን የተተነኑ ንጥረ ነገሮችን ወይም ግብረመልሶቻቸውን በአንድ ጊዜ በንጥረ ነገር ላይ በማስቀመጥ ቀጭን ፊልም ያገኛሉ። የአዮን ሽፋንማሽንየቫክዩም ትነት፣ የፕላዝማ ቴክኖሎጂ እና የጋዝ ፍላት መፍሰስን ያጣምራል፣ ይህም የፊልም ጥራትን ከማሻሻል ባለፈ የፊልሙን የአተገባበር ክልል ያሰፋዋል። የዚህ ሂደት ጥቅሞች ጠንካራ ዲፍራክሽን፣ ጥሩ የፊልም ማጣበቂያ እና የተለያዩ የሽፋን ቁሳቁሶች ናቸው። የአዮን ፕላቲንግ መርህ ለመጀመሪያ ጊዜ የቀረበው በዲኤም ማቶክስ ነው። ብዙ አይነት የአዮን ፕላቲንግ አሉ። በጣም የተለመደው አይነት የትነት ማሞቂያ ሲሆን የመቋቋም ማሞቂያ፣ የኤሌክትሮን ጨረር ማሞቂያ፣ የፕላዝማ ኤሌክትሮን ጨረር ማሞቂያ፣ ከፍተኛ ድግግሞሽ የኢንዳክሽን ማሞቂያ እና ሌሎች የማሞቂያ ዘዴዎችን ያካትታል።