Իոնային ծածկույթմեքենա առաջացել է 1960-ականներին Դ.Մ. Մատտոքսի առաջարկած տեսությունից, և այդ ժամանակ սկսվեցին համապատասխան փորձերը.Մինչև 1971 թվականը Չեմբերսը և մյուսները հրապարակեցին էլեկտրոնային ճառագայթների իոնային ծածկման տեխնոլոգիան;Ռեակտիվ գոլորշիացման (ARE) տեխնոլոգիան մատնանշվել է 1972թ. Բունշահի զեկույցում, երբ արտադրվել են գերկարծր ֆիլմերի տեսակներ, ինչպիսիք են TiC և TiN;Նաև 1972 թվականին Սմիթը և Մոլլին ընդունեցին խոռոչ կաթոդի տեխնոլոգիան ծածկույթի գործընթացում:1980-ական թվականներին Չինաստանում իոնային ծածկույթը վերջապես հասել էր արդյունաբերական կիրառման մակարդակին, և ծածկույթի գործընթացները, ինչպիսիք են վակուումային բազմալարային իոնային ծածկույթը և աղեղից արտանետվող իոնային ծածկույթը, հաջորդաբար հայտնվել էին:
Վակուումային իոնապատման ամբողջ աշխատանքային գործընթացը հետևյալն է.պոմպվակուումային խցիկը, իսկ հետոսպասիրվակուումային ճնշումը մինչև 4X10⁻³ Պակամ ավելի լավ, անհրաժեշտ է միացնել բարձր լարման էլեկտրամատակարարումը և հիմքի և գոլորշիչի միջև կառուցել ցածր լարման արտանետվող գազի ցածր ջերմաստիճանի պլազմային տարածք:Միացրեք ենթաշերտի էլեկտրոդը 5000V DC բացասական բարձր լարման հետ՝ կաթոդի փայլուն արտանետում ձևավորելու համար:Իներտ գազի իոնները առաջանում են բացասական փայլի տարածքի մոտ:Նրանք մտնում են կաթոդի մութ տարածք և արագանում են էլեկտրական դաշտի կողմից և ռմբակոծում են ենթաշերտի մակերեսը:Սա մաքրման գործընթաց է, այնուհետև մուտքագրեք ծածկույթի գործընթաց:Ռմբակոծության տաքացման ազդեցության միջոցով որոշ երեսպատման նյութեր գոլորշիացվում են:Պլազմայի տարածքը մտնում է պրոտոններ, բախվում էլեկտրոնների և իներտ գազի իոնների հետ, և դրանց մի փոքր մասը իոնացված է: Այս իոնացված իոնները բարձր էներգիայով ռմբակոծելու են ֆիլմի մակերեսը և որոշ չափով կբարելավեն ֆիլմի որակը:
Վակուումային իոնային ծածկույթի սկզբունքը հետևյալն է. բարակ թաղանթ ստանալու համար:Իոնային ծածկույթմեքենահամատեղում է վակուումային գոլորշիացումը, պլազմային տեխնոլոգիան և գազի փայլի արտանետումը, ինչը ոչ միայն բարելավում է ֆիլմի որակը, այլև ընդլայնում է ֆիլմի կիրառման շրջանակը:Այս գործընթացի առավելություններն են ուժեղ դիֆրակցիան, ֆիլմի լավ կպչունությունը և ծածկույթի տարբեր նյութերը:Իոնապատման սկզբունքն առաջին անգամ առաջարկվել է DM Mattox-ի կողմից:Գոյություն ունեն իոնապատման բազմաթիվ տեսակներ:Ամենատարածված տեսակը գոլորշիացման ջեռուցումն է, ներառյալ դիմադրողական ջեռուցումը, էլեկտրոնային ճառագայթով ջեռուցումը, պլազմային էլեկտրոնային ճառագայթով ջեռուցումը, բարձր հաճախականությամբ ինդուկցիոն ջեռուցումը և ջեռուցման այլ մեթոդներ:
Հրապարակման ժամանակը՝ Փետրվար-14-2023