Waa maxay Mabda'a Shaqada ee mashiinka Dahaadhka Ion

Dahaarka Ion-kamashiin Waxay ka soo bilaabatay aragtida uu soo jeediyay DM Mattox 1960-meeyadii, tijaabooyinka u dhigmana waxay bilaabeen wakhtigaas; Ilaa 1971, Chambers iyo kuwa kale waxay daabaceen tiknoolajiyada dahaarka ion-ka elektaroonigga ah; Tiknoolajiyadda dahaarka uumiga ee falcelinta leh (ARE) waxaa lagu tilmaamay warbixinta Bunshah sanadkii 1972, markii la soo saaray noocyada filimada aadka u adag sida TiC iyo TiN; Sidoo kale sanadkii 1972, Smith iyo Molley waxay qaateen tiknoolajiyadda cathode-ka godka ah ee habka dahaarka. Sannadkii 1980-meeyadii, dahaarka ion-ka ee Shiinaha ayaa ugu dambeyntii gaaray heerka codsiga warshadaha, hababka dahaarka sida dahaarka ion-ka faakiyuumka badan iyo dahaarka ion-ka ee arc-daadinta ayaa si isdaba joog ah u soo muuqday.

Habka shaqada oo dhan ee dahaadhka faakuumka waa sida soo socota: marka hore,bamkaqolka faakiyuumka, ka dibnasugcadaadiska faakuumka ilaa 4X10 ⁻ ³ Paama ka sii fiican, waxaa lagama maarmaan ah in la isku xiro korontada danab sare leh oo la dhiso meel plasma heerkul hoose leh oo gaas danab hoose leh oo u dhexeeya substrate-ka iyo uumi-bixiyaha. Ku xidh elektrode-ka substrate-ka danab sare oo 5000V DC ah si loo sameeyo iftiin ka soo baxaya cathode-ka. Aayooyinka gaaska aan firfircoonayn waxaa laga soo saaraa meel u dhow aagga iftiinka taban. Waxay galaan aagga mugdiga ah ee cathode-ka waxaana dardargeliya goobta korontada waxayna duqeeyaan dusha sare ee substrate-ka. Tani waa hab nadiifin ah, ka dibna waxay galaan habka dahaarka. Iyada oo loo marayo saameynta kululaynta bamgareynta, walxaha dahaadhka qaarkood ayaa uumi baxa. Aagga balaasmaha ayaa gala proton-ka, waxay la kulmaan elektaroono iyo aayooyinka gaaska aan firfircoonayn, qayb yar oo ka mid ahna waa aayood. Aayooyinkan aayoodaysan ee leh tamar sare waxay duqayn doonaan dusha sare ee filimka waxayna hagaajin doonaan tayada filimka ilaa xad.

Mabda'a dahaadhka ion-ka faakuumka waa: qolka faakuumka, iyadoo la adeegsanayo ifafaalaha sii deynta gaaska ama qaybta ion-ka ee walaxda uumiga leh, iyadoo la adeegsanayo ion-yada walxaha uumiga leh ama ion-yada gaaska leh, isku mar ayaa walxahan uumiga leh ama fal-galayaasheeda ku shuba substrate-ka si loo helo filim khafiif ah. Dahaarka ion-kamashiinWaxay isku daraysaa uumi-baxa faakuumka, tiknoolajiyada balaasmaha iyo sii deynta iftiinka gaaska, taas oo aan kaliya hagaajinayn tayada filimka, laakiin sidoo kale ballaarinaysa baaxadda codsiga filimka. Faa'iidooyinka habkan waa kala-soocid xooggan, isku-dhejin filim oo wanaagsan, iyo agabyo kala duwan oo dahaadh ah. Mabda'a dahaarka ion-ka waxaa markii ugu horreysay soo jeediyay DM Mattox. Waxaa jira noocyo badan oo dahaarka ion-ka ah. Nooca ugu badan waa kuleylinta uumi-baxa, oo ay ku jiraan kuleylinta iska caabbinta, kuleylinta ion-ka, kuleylinta ion-ka balaasmaha, kuleylinta soo-jiidashada ee soo noqnoqota iyo habab kale oo kuleylin ah.