Ионы бүрхүүлмашин 1960-аад онд Д.М. Маттоксын санал болгосон онолоос үүдэлтэй бөгөөд холбогдох туршилтууд тэр үед эхэлсэн; 1971 он хүртэл Чамберс болон бусад хүмүүс электрон цацрагийн ионы бүрэх технологийг нийтэлсэн; 1972 онд Буншагийн тайланд реактив ууршилтын бүрэх (ARE) технологийг дурдсан бөгөөд TiC болон TiN зэрэг хэт хатуу хальсны төрлүүдийг үйлдвэрлэж байжээ; Мөн 1972 онд Смит, Молли нар бүрэх процесст хөндий катодын технологийг нэвтрүүлсэн. 1980-аад он гэхэд Хятадад ионы бүрэх нь эцэстээ үйлдвэрлэлийн түвшинд хүрч, вакуум олон нуман ионы бүрэх, нуман цэнэггүйжүүлэх ионы бүрэх зэрэг бүрэх процессууд дараалан гарч ирсэн.
Вакуум ионы бүрээсийн бүхэл бүтэн ажлын процесс дараах байдалтай байна: нэгдүгээрт,насосвакуум камер, дараа ньхүлээхвакуум даралтыг 4X10⁻³ Па хүртэл тохируулнаэсвэл илүү сайн, өндөр хүчдэлийн цахилгаан хангамжийг холбож, суурь болон ууршуулагчийн хооронд бага хүчдэлийн цэнэг алдалтын хийн бага температурын плазмын хэсгийг бий болгох шаардлагатай. Катодын гэрэлтсэн цэнэг алдалтыг үүсгэхийн тулд суурь электродыг 5000V DC сөрөг өндөр хүчдэлтэй холбоно. Сөрөг гэрэлтсэн хэсгийн ойролцоо инертийн ионууд үүсдэг. Тэд катодын харанхуй хэсэгт орж, цахилгаан орны нөлөөгөөр хурдасч, суурь гадаргууг бөмбөгдөнө. Энэ бол цэвэрлэх үйл явц бөгөөд дараа нь бүрэх үйл явцад ордог. Бөмбөгдөлтийн халаалтын нөлөөгөөр зарим бүрэх материал ууршдаг. Плазмын хэсэг нь протон руу орж, электрон болон инертийн хийн ионуудтай мөргөлдөж, тэдгээрийн багахан хэсэг нь ионждог. Эдгээр өндөр энерги бүхий ионжуулсан ионууд нь хальсны гадаргууг бөмбөгдөж, хальсны чанарыг тодорхой хэмжээгээр сайжруулна.
Вакуум ионы бүрэх зарчим нь: вакуум камерт хийн ялгаралтын үзэгдэл эсвэл ууршсан материалын ионжуулсан хэсгийг ашиглан ууршсан материалын ион эсвэл хийн ионуудын бөмбөгдөлтийн дор эдгээр ууршсан бодисууд эсвэл тэдгээрийн урвалжуудыг суурь дээр нэгэн зэрэг байрлуулж нимгэн хальс үүсгэдэг. Ионы бүрэлтмашинвакуум ууршилт, плазмын технологи болон хийн гэрэлтэлтийг хослуулсан нь хальсны чанарыг сайжруулаад зогсохгүй хальсны хэрэглээний хүрээг өргөжүүлдэг. Энэ процессын давуу талууд нь хүчтэй дифракци, хальсны сайн наалдац, янз бүрийн бүрэх материал юм. Ионы бүрэх зарчмыг анх DM Mattox санал болгосон. Ионы бүрэх олон төрөл байдаг. Хамгийн түгээмэл төрөл нь ууршилтын халаалт бөгөөд үүнд эсэргүүцлийн халаалт, электрон цацрагийн халаалт, плазмын электрон цацрагийн халаалт, өндөр давтамжийн индукцийн халаалт болон бусад халаалтын аргууд орно.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 2-р сарын 14