අයන තහඩු යන්ත්‍රයේ ක්‍රියාකාරී මූලධර්මය කුමක්ද?

අයන ආලේපනයයන්ත්රය 1960 ගණන්වල DM Mattox විසින් යෝජනා කරන ලද න්‍යායෙන් ආරම්භ වූ අතර ඊට අනුරූප අත්හදා බැලීම් එකල ආරම්භ විය;1971 වන තෙක්, Chambers සහ වෙනත් අය ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්භ අයන ප්ලේටින් තාක්ෂණය ප්‍රකාශයට පත් කළහ;TiC සහ TiN වැනි සුපිරි දෘඩ චිත්‍රපට වර්ග නිෂ්පාදනය කරන ලද 1972 දී Bunshah වාර්තාවේ ප්‍රතික්‍රියාශීලී වාෂ්පීකරණ තහඩු (ARE) තාක්ෂණය පෙන්වා දෙන ලදී;එසේම 1972 දී ස්මිත් සහ මොලී ආලේපන ක්‍රියාවලියේදී හිස් කැතෝඩ තාක්ෂණය අනුගමනය කළහ.1980 ගණන් වන විට, චීනයේ අයන ආලේපනය අවසානයේ කාර්මික යෙදුමේ මට්ටමට ළඟා වූ අතර, රික්ත බහු-චාප අයන තහඩු කිරීම සහ චාප-විසර්ජන අයන තහඩු කිරීම වැනි ආලේපන ක්‍රියාවලීන් අනුක්‍රමිකව දර්ශනය විය.

රික්ත අයන තහඩු කිරීමේ සම්පූර්ණ ක්‍රියාවලිය පහත පරිදි වේ: පළමුව,පොම්පයරික්ත කුටිය, සහ පසුවඉන්නරික්ත පීඩනය 4X10 ⁻ ³ Pa දක්වානැත්නම් වඩා හොඳයි, අධි වෝල්ටීයතා බල සැපයුම සම්බන්ධ කිරීම සහ උපස්ථරය සහ වාෂ්පකාරකය අතර අඩු වෝල්ටීයතා විසර්ජන වායුවේ අඩු උෂ්ණත්ව ප්ලාස්මා ප්රදේශයක් ගොඩනැගීම අවශ්ය වේ.කැතෝඩයේ දිදුලන විසර්ජනයක් සෑදීමට උපස්ථර ඉලෙක්ට්‍රෝඩය 5000V DC සෘණ අධි වෝල්ටීයතාවයක් සමඟ සම්බන්ධ කරන්න.නිෂ්ක්‍රීය වායු අයන ඍණ දිලිසෙන ප්‍රදේශය අසල ජනනය වේ.ඒවා කැතෝඩ අඳුරු ප්‍රදේශයට ඇතුළු වන අතර විද්‍යුත් ක්ෂේත්‍රය මගින් වේගවත් වන අතර උපස්ථරයේ මතුපිටට බෝම්බ හෙළයි.මෙය පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලියක් වන අතර, පසුව ආලේපන ක්රියාවලියට ඇතුල් වන්න.බෝම්බ උණුසුම් කිරීමේ බලපෑම හරහා, සමහර ප්ලේටින් ද්රව්ය වාෂ්ප වී ඇත.ප්ලාස්මා ප්‍රදේශය ප්‍රෝටෝන වලට ඇතුල් වන අතර ඉලෙක්ට්‍රෝන හා නිෂ්ක්‍රීය වායු අයන සමඟ ගැටෙන අතර ඒවායින් කුඩා කොටසක් අයනීකෘත වේ, අධි ශක්තියෙන් යුත් මෙම අයනීකෘත අයන චිත්‍රපට මතුපිටට බෝම්බ හෙලන අතර චිත්‍රපටයේ ගුණාත්මක භාවය යම් තාක් දුරට වැඩි දියුණු කරයි.

රික්ත අයන ප්ලේටින් කිරීමේ මූලධර්මය නම්: රික්ත කුටියේ, වායු විසර්ජන සංසිද්ධිය හෝ වාෂ්පීකරණය වූ ද්‍රව්‍යයේ අයනීකෘත කොටස භාවිතා කරමින්, වාෂ්පීකරණය වූ ද්‍රව්‍ය අයන හෝ වායු අයනවල බෝම්බ හෙලීම යටතේ, මෙම වාෂ්පීකරණය වූ ද්‍රව්‍ය හෝ ඒවායේ ප්‍රතික්‍රියාකාරක උපස්ථරය මත එකවර තැන්පත් කිරීම. තුනී පටලයක් ලබා ගැනීමට.අයන ආලේපනයයන්ත්රයරික්ත වාෂ්පීකරණය, ප්ලාස්මා තාක්ෂණය සහ වායු ග්ලෝ විසර්ජනය ඒකාබද්ධ කරයි, එය චිත්‍රපටයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කරනවා පමණක් නොව, චිත්‍රපටයේ යෙදුම් පරාසය ද පුළුල් කරයි.මෙම ක්රියාවලියේ වාසි වන්නේ ප්රබල විවර්තනය, හොඳ පටල ඇලවීම සහ විවිධ ආලේපන ද්රව්ය.අයන ප්ලේට් කිරීමේ මූලධර්මය මුලින්ම යෝජනා කළේ DM Mattox විසිනි.අයන ආලේපන වර්ග බොහොමයක් තිබේ.ප්‍රතිරෝධක උණුසුම, ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්භ තාපනය, ප්ලාස්මා ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්භ උණුසුම, අධි-සංඛ්‍යාත ප්‍රේරක උණුසුම සහ අනෙකුත් උනුසුම් ක්‍රම ඇතුළුව වඩාත් සුලභ වර්ගය වන්නේ වාෂ්පීකරණ උණුසුමයි.