आयन प्लेटिंग मशीनचे कार्य तत्त्व काय आहे

आयन लेपमशीन 1960 च्या दशकात डीएम मॅटॉक्सने प्रस्तावित केलेल्या सिद्धांतापासून उगम झाला आणि त्या वेळी संबंधित प्रयोग सुरू झाले;1971 पर्यंत, चेंबर्स आणि इतरांनी इलेक्ट्रॉन बीम आयन प्लेटिंगचे तंत्रज्ञान प्रकाशित केले;प्रतिक्रियात्मक बाष्पीभवन प्लेटिंग (ARE) तंत्रज्ञान 1972 मध्ये बनशाह अहवालात निदर्शनास आणले होते, जेव्हा TiC आणि TiN सारख्या सुपर-हार्ड फिल्म प्रकारांची निर्मिती करण्यात आली होती;तसेच 1972 मध्ये, स्मिथ आणि मॉली यांनी कोटिंग प्रक्रियेत पोकळ कॅथोड तंत्रज्ञानाचा अवलंब केला.1980 च्या दशकापर्यंत, चीनमधील आयन प्लेटिंग शेवटी औद्योगिक वापराच्या पातळीवर पोहोचले होते आणि व्हॅक्यूम मल्टी-आर्क आयन प्लेटिंग आणि आर्क-डिस्चार्ज आयन प्लेटिंग यासारख्या कोटिंग प्रक्रिया क्रमशः दिसू लागल्या होत्या.

व्हॅक्यूम आयन प्लेटिंगची संपूर्ण कार्य प्रक्रिया खालीलप्रमाणे आहे: प्रथम,पंपव्हॅक्यूम चेंबर, आणि नंतरप्रतीक्षा कराव्हॅक्यूम दाब 4X10 ⁻ ³ Paकिंवा चांगले, हाय व्होल्टेज पॉवर सप्लाय जोडणे आणि सब्सट्रेट आणि बाष्पीभवन दरम्यान कमी व्होल्टेज डिस्चार्ज गॅसचे कमी तापमानाचे प्लाझ्मा क्षेत्र तयार करणे आवश्यक आहे.कॅथोडचा ग्लो डिस्चार्ज तयार करण्यासाठी सब्सट्रेट इलेक्ट्रोडला 5000V DC नकारात्मक उच्च व्होल्टेजसह कनेक्ट करा.निगेटिव्ह ग्लो क्षेत्राजवळ निष्क्रिय वायू आयन तयार होतात.ते कॅथोड गडद भागात प्रवेश करतात आणि विद्युत क्षेत्राद्वारे प्रवेगक होतात आणि सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर भडिमार करतात.ही एक साफसफाईची प्रक्रिया आहे आणि नंतर कोटिंग प्रक्रियेत प्रवेश करा.बॉम्बर्डमेंट हीटिंगच्या प्रभावाद्वारे, काही प्लेटिंग सामग्रीचे वाष्पीकरण केले जाते.प्लाझ्मा क्षेत्र प्रोटॉनमध्ये प्रवेश करते, इलेक्ट्रॉन आणि अक्रिय वायू आयनांशी आदळते आणि त्यातील एक छोटासा भाग आयनीकृत केला जातो, उच्च उर्जा असलेले हे आयनीकृत आयन फिल्मच्या पृष्ठभागावर भडिमार करतात आणि काही प्रमाणात फिल्मची गुणवत्ता सुधारतात.

व्हॅक्यूम आयन प्लेटिंगचे तत्त्व आहे: व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये, गॅस डिस्चार्ज इंद्रियगोचर किंवा बाष्पयुक्त पदार्थाचा आयनीकृत भाग वापरून, बाष्पयुक्त पदार्थ आयन किंवा वायू आयनांच्या भडिमाराखाली, एकाच वेळी हे वाष्पयुक्त पदार्थ किंवा त्यांचे अभिक्रियाक थरांवर जमा करतात. एक पातळ फिल्म प्राप्त करण्यासाठी.आयन कोटिंगमशीनव्हॅक्यूम बाष्पीभवन, प्लाझ्मा तंत्रज्ञान आणि गॅस ग्लो डिस्चार्ज एकत्र करते, जे केवळ चित्रपटाची गुणवत्ता सुधारत नाही तर चित्रपटाची अनुप्रयोग श्रेणी देखील विस्तृत करते.या प्रक्रियेचे फायदे म्हणजे मजबूत विवर्तन, चांगली फिल्म आसंजन आणि विविध कोटिंग सामग्री.आयन प्लेटिंगचा सिद्धांत प्रथम डीएम मॅटॉक्सने प्रस्तावित केला होता.आयन प्लेटिंगचे अनेक प्रकार आहेत.सर्वात सामान्य प्रकार म्हणजे बाष्पीभवन हीटिंग, ज्यामध्ये प्रतिरोधक हीटिंग, इलेक्ट्रॉन बीम हीटिंग, प्लाझ्मा इलेक्ट्रॉन बीम हीटिंग, उच्च-फ्रिक्वेंसी इंडक्शन हीटिंग आणि इतर हीटिंग पद्धतींचा समावेश आहे.