Lapisan ionmesin asalé saka téori sing diajokaké déning DM Mattox ing taun 1960-an, lan eksperimen sing cocog diwiwiti nalika iku;Nganti taun 1971, Chambers lan liya-liyane nerbitake teknologi pelapisan ion sinar elektron;Teknologi reactive evaporation plating (ARE) dituduhake ing laporan Bunshah ing taun 1972, nalika jinis film super-hard kayata TiC lan TiN diprodhuksi;Uga ing taun 1972, Smith lan Molley nggunakake teknologi katoda kothong ing proses lapisan.Ing taun 1980-an, ion plating ing China pungkasanipun tekan tingkat aplikasi industri, lan pangolahan lapisan kayata vakum multi-busur ion plating lan busur-discharge ion plating wis katon sukses.
Proses kerja kabeh plating ion vakum kaya ing ngisor iki: pisanan,pompakamar vakum, lan banjurngentenitekanan vakum dadi 4X10 ⁻ ³ Pautawa luwih apik, perlu kanggo nyambungake sumber daya voltase dhuwur lan mbangun area plasma suhu kurang saka gas discharge voltase kurang antarane landasan lan evaporator.Sambungake elektroda landasan karo 5000V DC voltase dhuwur negatif kanggo mbentuk discharge cemlorot saka cathode.Ion gas inert diasilake cedhak area cemlorot negatif.Dheweke mlebu ing wilayah peteng katoda lan dipercepat dening medan listrik lan ngebom permukaan substrat.Iki minangka proses reresik, banjur mlebu ing proses lapisan.Liwat efek pemanasan bombardment, sawetara bahan plating nguap.Tlatah plasma lumebu ing proton, tabrakan karo elektron lan ion gas inert, lan bagean cilik saka wong-wong mau sing ionized, Iki ionized ion karo energi dhuwur bakal bombard lumahing film lan nambah kualitas film kanggo sawetara ombone.
Prinsip plating ion vakum yaiku: ing ruang vakum, nggunakake fenomena discharge gas utawa bagean ionisasi saka bahan sing nguap, ing sangisore bombardment saka ion bahan sing nguap utawa ion gas, bebarengan nyetop bahan sing nguap utawa reaktan kasebut ing landasan. kanggo entuk film tipis.Lapisan ionmesinnggabungke penguapan vakum, teknologi plasma lan discharge cemlorot gas, kang ora mung nambah kualitas film, nanging uga ngembangaken sawetara aplikasi saka film.Keuntungan saka proses iki yaiku difraksi sing kuat, adhesi film sing apik, lan macem-macem bahan lapisan.Prinsip plating ion pisanan diusulake dening DM Mattox.Ana akeh jinis ion plating.Jinis sing paling umum yaiku pemanasan penguapan, kalebu pemanasan resistensi, pemanasan sinar elektron, pemanasan sinar elektron plasma, pemanasan induksi frekuensi dhuwur lan metode pemanasan liyane.
Wektu kirim: Feb-14-2023