ئىئون قاپلاش ماشىنىسىنىڭ ئىشلەش پىرىنسىپى نېمە؟

ئىئون قاپلىمىماشىنا 1960-يىللاردا DM Mattox تەرىپىدىن ئوتتۇرىغا قويۇلغان نەزەرىيەدىن كېلىپ چىققان بولۇپ، شۇنىڭغا ماس كېلىدىغان سىناقلار شۇ چاغدا باشلانغان؛ 1971-يىلغىچە، چامبېرس ۋە باشقىلار ئېلېكترون نۇرى ئىئون قاپلاش تېخنىكىسىنى ئېلان قىلغان؛ 1972-يىلى بۇنشاھنىڭ دوكلاتىدا رېئاكتىپ پارغا ئايلاندۇرۇش قاپلاش (ARE) تېخنىكىسى تىلغا ئېلىنغان بولۇپ، TiC ۋە TiN قاتارلىق ئىنتايىن قاتتىق پىلاستىنكا تۈرلىرى ئىشلەپچىقىرىلغان؛ شۇنداقلا 1972-يىلى، سىمىس ۋە موللېي قاپلاش جەريانىدا بوشلۇق كاتود تېخنىكىسىنى قوللانغان. 1980-يىللارغا كەلگەندە، جۇڭگودىكى ئىئون قاپلاش ئاخىرى سانائەت قوللىنىش سەۋىيەسىگە يەتكەن، ھەمدە ۋاكۇئۇم كۆپ ئوقلۇق ئىئون قاپلاش ۋە ئوق چىقىرىش ئىئون قاپلاش قاتارلىق قاپلاش جەريانلىرى ئارقا-ئارقىدىن پەيدا بولغان.

ۋاكۇئۇم ئىئون قاپلاشنىڭ پۈتۈن خىزمەت جەريانى تۆۋەندىكىدەك: بىرىنچى،پومپاۋاكۇئۇم كامېراسى، ئاندىنكۈتۈشۋاكۇئۇم بېسىمىنى 4X10 ⁻³ Pa غا چۈشۈرۈڭياكى ئۇنىڭدىنمۇ ياخشى، يۇقىرى ۋولتلۇق توك مەنبەسىنى ئۇلاپ، ئاساسىي قەۋەت بىلەن پارغا ئايلاندۇرغۇچ ئوتتۇرىسىدا تۆۋەن تېمپېراتۇرىلىق پلازما رايونىنى قۇرۇپ چىقىش كېرەك. ئاساسىي قەۋەت ئېلېكترودىنى 5000V DC مەنپىي يۇقىرى ۋولت بىلەن ئۇلاپ، كاتودنىڭ پارقىراقلىق رادىئاتسىيەسىنى ھاسىل قىلىڭ. مەنپىي پارقىراقلىق رايونىغا يېقىن جايدا ئىنېرت گاز ئىئونلىرى ھاسىل بولىدۇ. ئۇلار كاتود قاراڭغۇ رايونىغا كىرىپ، ئېلېكتر مەيدانى تەرىپىدىن تېزلىنىپ، ئاساسىي قەۋەتنىڭ يۈزىنى بومباردىمان قىلىدۇ. بۇ بىر تازىلاش جەريانى بولۇپ، ئاندىن قاپلاش جەريانىغا كىرىدۇ. بومباردىمان قىلىش قىزىتىش تەسىرى ئارقىلىق، بەزى قاپلاش ماتېرىياللىرى پارغا ئايلىنىدۇ. پلازما رايونى پروتونلارغا كىرىپ، ئېلېكترون ۋە ئىنېرت گاز ئىئونلىرى بىلەن سوقۇلىدۇ، ئۇلارنىڭ ئاز بىر قىسمى ئىئونلىشىدۇ. بۇ يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك ئىئونلاشقان ئىئونلار پىلىنكا يۈزىنى بومباردىمان قىلىپ، پىلىنكا سۈپىتىنى بەلگىلىك دەرىجىدە ياخشىلايدۇ.

ۋاكۇئۇم ئىئون قاپلاش پىرىنسىپى مۇنداق: ۋاكۇئۇم كامېراسىدا، گاز قويۇپ بېرىش ھادىسىسى ياكى پارغا ئايلانغان ماتېرىيالنىڭ ئىئونلاشقان قىسمى ئارقىلىق، پارغا ئايلانغان ماتېرىيال ئىئونلىرى ياكى گاز ئىئونلىرىنىڭ بومباردىمان قىلىنىشى ئاستىدا، بۇ پارغا ئايلانغان ماددىلارنى ياكى ئۇلارنىڭ رېئاكسىيەلىك ماددىلارنى ئاساسىي قاتلامغا قويۇپ، نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ. ئىئون قاپلاشماشىناۋاكۇئۇم پارغا ئايلاندۇرۇش، پلازما تېخنىكىسى ۋە گاز پارقىراقلىق قويۇپ بېرىش ئۇسۇلىنى بىرلەشتۈرگەن بولۇپ، بۇ پەقەت پىلاستىنكا سۈپىتىنى ياخشىلاپلا قالماي، يەنە پىلاستىنكىنىڭ قوللىنىش دائىرىسىنى كېڭەيتىدۇ. بۇ جەرياننىڭ ئەۋزەللىكى كۈچلۈك دىفراكسىيە، پىلاستىنكىنىڭ ياخشى يېپىشتۇرۇشى ۋە ھەر خىل قاپلاش ماتېرىياللىرى. ئىئون قاپلاش پىرىنسىپىنى ئەڭ دەسلەپ DM Mattox ئوتتۇرىغا قويغان. ئىئون قاپلاشنىڭ نۇرغۇن تۈرلىرى بار. ئەڭ كۆپ ئۇچرايدىغان تۈرى پارغا ئايلاندۇرۇش ئارقىلىق قىزىتىش بولۇپ، قارشىلىق كۆرسىتىش ئارقىلىق قىزىتىش، ئېلېكترون نۇرى ئارقىلىق قىزىتىش، پلازما ئېلېكترون نۇرى ئارقىلىق قىزىتىش، يۇقىرى چاستوتىلىق ئىندۇكسىيە ئارقىلىق قىزىتىش ۋە باشقا قىزىتىش ئۇسۇللىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.