Ionska prevlekastroj izvira iz teorije, ki jo je predlagal DM Mattox v šestdesetih letih prejšnjega stoletja, in takrat so se začeli ustrezni poskusi;Do leta 1971 so Chambers in drugi objavili tehnologijo ionske prevleke z elektronskim žarkom;Tehnologija prevleke z reaktivnim izhlapevanjem (ARE) je bila izpostavljena v poročilu Bunshaha leta 1972, ko so bile proizvedene vrste supertrdnega filma, kot sta TiC in TiN;Tudi leta 1972 sta Smith in Molley sprejela tehnologijo votle katode v procesu nanašanja premazov.Do osemdesetih let 20. stoletja je ionsko nanašanje na Kitajskem končno doseglo raven industrijske uporabe in zaporedoma so se pojavili postopki nanašanja premazov, kot sta vakuumsko ionsko nanašanje z več loki in ionsko nanašanje z obločno razelektritvijo.
Celoten delovni proces vakuumskega ionskega nanašanja je naslednji: najprej,črpalkavakuumsko komoro in natočakativakuumski tlak na 4X10 ⁻ ³ Paali bolje, je treba priključiti visokonapetostno napajanje in zgraditi nizkotemperaturno plazemsko območje nizkonapetostnega plina med substratom in uparjalnikom.Povežite substratno elektrodo z negativno visoko napetostjo 5000 V DC, da ustvarite žarečo razelektritev katode.Ioni inertnega plina nastajajo v bližini območja negativnega sijaja.Vstopajo v katodno temno območje in jih pospeši električno polje ter bombardirajo površino podlage.To je postopek čiščenja, nato pa vstopite v postopek premazovanja.Zaradi učinka bombardiranja se nekateri materiali za galvanizacijo uparijo.Območje plazme vstopi v protone, trči z elektroni in ioni inertnega plina, majhen del pa se ionizira. Ti ionizirani ioni z visoko energijo bodo bombardirali površino filma in do neke mere izboljšali kakovost filma.
Načelo vakuumskega ionskega prevleke je: v vakuumski komori z uporabo pojava plinske razelektritve ali ioniziranega dela uparjenega materiala, pod bombardiranjem uparjenih materialnih ionov ali plinskih ionov, sočasno odlaganje teh uparjenih snovi ali njihovih reaktantov na podlago da dobimo tanek film.Ionska prevlekastrojzdružuje vakuumsko izhlapevanje, plazemsko tehnologijo in plinsko žarečo razelektritev, kar ne le izboljša kakovost filma, ampak tudi razširi obseg uporabe filma.Prednosti tega postopka so močna difrakcija, dober oprijem filma in različni materiali za prevleko.Načelo ionske prevleke je prvi predlagal DM Mattox.Obstaja veliko vrst ionske prevleke.Najpogostejši tip je ogrevanje z izhlapevanjem, vključno z uporovnim segrevanjem, segrevanjem z elektronskim žarkom, plazemskim ogrevanjem z elektronskim žarkom, visokofrekvenčnim indukcijskim ogrevanjem in drugimi metodami ogrevanja.
Čas objave: 14. februarja 2023