ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងម៉ាស៊ីន មានប្រភពមកពីទ្រឹស្តីដែលបានស្នើឡើងដោយ DM Mattox ក្នុងទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1960 ហើយការពិសោធន៍ដែលត្រូវគ្នាបានចាប់ផ្តើមនៅពេលនោះ។ រហូតដល់ឆ្នាំ 1971 លោក Chambers និងអ្នកផ្សេងទៀតបានបោះពុម្ពផ្សាយបច្ចេកវិទ្យានៃការដាក់អ៊ីយ៉ុងធ្នឹមអេឡិចត្រុង។ បច្ចេកវិទ្យាការដាក់អ៊ីយ៉ុងហួតដែលមានប្រតិកម្ម (ARE) ត្រូវបានចង្អុលបង្ហាញនៅក្នុងរបាយការណ៍ Bunshah ក្នុងឆ្នាំ 1972 នៅពេលដែលប្រភេទខ្សែភាពយន្តរឹងខ្លាំងដូចជា TiC និង TiN ត្រូវបានផលិត។ ដូចគ្នានេះដែរនៅឆ្នាំ 1972 លោក Smith និង Molley បានទទួលយកបច្ចេកវិទ្យាកាតូតប្រហោងក្នុងដំណើរការថ្នាំកូត។ នៅទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1980 ការដាក់អ៊ីយ៉ុងនៅក្នុងប្រទេសចិនទីបំផុតបានឈានដល់កម្រិតនៃការអនុវត្តឧស្សាហកម្ម ហើយដំណើរការថ្នាំកូតដូចជាការដាក់អ៊ីយ៉ុងពហុធ្នូក្នុងសុញ្ញកាស និងការដាក់អ៊ីយ៉ុងបញ្ចេញធ្នូបានលេចចេញជាលំដាប់។
ដំណើរការការងារទាំងមូលនៃការស្រោបអ៊ីយ៉ុងក្នុងសុញ្ញកាសមានដូចខាងក្រោម៖ ទីមួយស្នប់បន្ទប់បូមធូលី ហើយបន្ទាប់មករង់ចាំសម្ពាធខ្យល់ក្នុងសុញ្ញកាសដល់ 4X10 ⁻ ³ Paឬប្រសើរជាងចាំបាច់ត្រូវភ្ជាប់ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលវ៉ុលខ្ពស់ ហើយបង្កើតតំបន់ប្លាស្មាសីតុណ្ហភាពទាបនៃឧស្ម័នបញ្ចេញវ៉ុលទាបរវាងស្រទាប់ខាងក្រោម និងឧបករណ៍ហួត។ ភ្ជាប់អេឡិចត្រូតស្រទាប់ខាងក្រោមជាមួយវ៉ុលខ្ពស់អវិជ្ជមាន DC 5000V ដើម្បីបង្កើតការបញ្ចេញពន្លឺនៃកាតូត។ អ៊ីយ៉ុងឧស្ម័នអសកម្មត្រូវបានបង្កើតនៅជិតតំបន់ពន្លឺអវិជ្ជមាន។ ពួកវាចូលទៅក្នុងតំបន់ងងឹតកាតូត ហើយត្រូវបានបង្កើនល្បឿនដោយវាលអគ្គិសនី ហើយបាញ់ផ្លោងទៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ នេះគឺជាដំណើរការសម្អាត ហើយបន្ទាប់មកចូលទៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូត។ តាមរយៈឥទ្ធិពលនៃកំដៅបាញ់ផ្លោង សម្ភារៈស្រោបមួយចំនួនត្រូវបានហួត។ តំបន់ប្លាស្មាចូលទៅក្នុងប្រូតុង ប៉ះទង្គិចជាមួយអេឡិចត្រុង និងអ៊ីយ៉ុងឧស្ម័នអសកម្ម ហើយផ្នែកតូចមួយនៃពួកវាត្រូវបានអ៊ីយ៉ូដ។ អ៊ីយ៉ុងអ៊ីយ៉ូដទាំងនេះដែលមានថាមពលខ្ពស់នឹងបាញ់ផ្លោងទៅលើផ្ទៃខ្សែភាពយន្ត និងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពខ្សែភាពយន្តក្នុងកម្រិតខ្លះ។
គោលការណ៍នៃការដាក់បន្ទះអ៊ីយ៉ុងក្នុងសុញ្ញកាសគឺ៖ នៅក្នុងបន្ទប់សុញ្ញកាស ដោយប្រើបាតុភូតបញ្ចេញឧស្ម័ន ឬផ្នែកអ៊ីយ៉ូដនៃសម្ភារៈហួត ក្រោមការទម្លាក់គ្រាប់បែកនៃអ៊ីយ៉ុងសម្ភារៈហួត ឬអ៊ីយ៉ុងឧស្ម័ន ដាក់សារធាតុហួតទាំងនេះ ឬសារធាតុប្រតិកម្មរបស់វានៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងពេលដំណាលគ្នា ដើម្បីទទួលបានខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយ។ម៉ាស៊ីនរួមបញ្ចូលគ្នានូវការហួតដោយបូមធូលី បច្ចេកវិទ្យាប្លាស្មា និងការបញ្ចេញពន្លឺឧស្ម័ន ដែលមិនត្រឹមតែធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពខ្សែភាពយន្តប៉ុណ្ណោះទេ ថែមទាំងពង្រីកវិសាលភាពនៃការអនុវត្តខ្សែភាពយន្តផងដែរ។ គុណសម្បត្តិនៃដំណើរការនេះគឺការឌីផ្រាក់ស្យុងខ្លាំង ការស្អិតជាប់ល្អនៃខ្សែភាពយន្ត និងសម្ភារៈថ្នាំកូតជាច្រើន។ គោលការណ៍នៃការដាក់អ៊ីយ៉ុងត្រូវបានស្នើឡើងជាលើកដំបូងដោយ DM Mattox។ មានការដាក់អ៊ីយ៉ុងច្រើនប្រភេទ។ ប្រភេទទូទៅបំផុតគឺកំដៅហួត រួមទាំងកំដៅធន់ទ្រាំ កំដៅធ្នឹមអេឡិចត្រុង កំដៅធ្នឹមអេឡិចត្រុងប្លាស្មា កំដៅអាំងឌុចស្យុងប្រេកង់ខ្ពស់ និងវិធីសាស្ត្រកំដៅផ្សេងទៀត។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៤ ខែកុម្ភៈ ឆ្នាំ ២០២៣