Seaparo sa Ionmochini e simolohile khopolo-taba e hlahisitsoeng ke DM Mattox lilemong tsa bo-1960, 'me liteko tse tsamaellanang li qalile ka nako eo; Ho fihlela ka 1971, Chambers le ba bang ba ile ba phatlalatsa theknoloji ea ho betla ha ion ea electron beam; Theknoloji ea ho betla ha evaporation (ARE) e ile ea bontšoa tlalehong ea Bunshah ka 1972, ha mefuta ea lifilimi tse thata haholo tse kang TiC le TiN li ne li hlahisoa; Hape ka 1972, Smith le Molley ba ile ba amohela theknoloji ea cathode e se nang letho ts'ebetsong ea ho betla. Lilemong tsa bo-1980, ho betla ha ion Chaena ho ne ho se ho fihlile boemong ba ts'ebeliso ea indasteri, 'me lits'ebetso tsa ho betla tse kang ho betla ha ion ea vacuum multi-arc le ho betla ha ion ea arc-discharge li ne li hlahile ka tatellano.
Ts'ebetso eohle ea ho polata ha ion ea vacuum e tjena: ea pele,pompokamore ea vacuum, ebeemakhatello ea vacuum ho 4X10 ⁻ ³ Pakapa ho molemo, ho hlokahala ho hokahanya phepelo ea motlakase o nang le motlakase o phahameng le ho haha sebaka sa plasma se nang le mocheso o tlase oa khase e ntšang motlakase o tlase pakeng tsa substrate le evaporator. Hokela electrode ea substrate ka motlakase o phahameng oa 5000V DC ho etsa phallo e khanyang ea cathode. Li-ion tsa khase tse se nang motlakase li hlahisoa haufi le sebaka sa khanya e se nang motlakase. Li kena sebakeng se lefifi sa cathode 'me li potlakisoa ke tšimo ea motlakase 'me li hlasela bokaholimo ba substrate. Ena ke ts'ebetso ea ho hloekisa, ebe li kena ts'ebetsong ea ho roala. Ka phello ea ho futhumatsa ka libomo, lisebelisoa tse ling tsa plating lia fetoha mouoane. Sebaka sa plasma se kena liprothoneng, se thulana le lielektrone le li-ion tsa khase tse se nang motlakase, 'me karolo e nyane ea tsona e entsoe ka ionized, li-ion tsena tse entsoeng ka ionized tse nang le matla a phahameng li tla hlasela bokaholimo ba filimi le ho ntlafatsa boleng ba filimi ho isa bohōleng bo itseng.
Molao-motheo oa ho betla li-ion ka vacuum ke: ka phapusing ea vacuum, ho sebelisoa ketsahalo ea ho ntša khase kapa karolo e nang le ion ea thepa e nang le mouoane, tlas'a ho phatloha ha li-ion tsa thepa e nang le mouoane kapa li-ion tsa khase, ka nako e le 'ngoe ho beha lintho tsena tse nang le mouoane kapa li-reactant tsa tsona holim'a substrate ho fumana filimi e tšesaane. Seaparo sa li-ionmochinie kopanya mouoane oa vacuum, theknoloji ea plasma le ho ntšoa ha khanya ea khase, e leng se sa ntlafatse boleng ba filimi feela, empa hape se atolosa mefuta ea ts'ebeliso ea filimi. Melemo ea ts'ebetso ena ke ho fafatsa ho matla, ho khomarela filimi hantle, le lisebelisoa tse fapaneng tsa ho roala. Molao-motheo oa ho phuthela li-ion o ile oa hlahisoa pele ke DM Mattox. Ho na le mefuta e mengata ea ho phuthela li-ion. Mofuta o tloaelehileng haholo ke ho futhumatsa mouoane, ho kenyeletsoa ho futhumatsa ho hanyetsang, ho futhumatsa mahlaseli a li-electron, ho futhumatsa mahlaseli a li-electron a plasma, ho futhumatsa ka maqhubu a phahameng le mekhoa e meng ea ho futhumatsa.
Nako ea poso: Hlakola-14-2023