آئن پليٽنگ مشين جو ڪم ڪندڙ اصول ڇا آهي

آئن ڪوٽنگمشين 1960 جي ڏهاڪي ۾ DM Mattox جي تجويز ڪيل نظريي مان پيدا ٿيو، ۽ ان سان لاڳاپيل تجربا ان وقت شروع ٿيا؛1971 تائين، چيمبرز ۽ ٻين شايع ڪيو اليڪٽران بيم آئن پليٽنگ جي ٽيڪنالاجي؛Reactive evaporation plating (ARE) ٽيڪنالاجيءَ جي نشاندهي 1972 ۾ بنشاه جي رپورٽ ۾ ڪئي وئي هئي، جڏهن سپر-هارڊ فلمن جا قسم جهڙوڪ TiC ۽ TiN ٺاهيا ويا هئا؛پڻ 1972 ۾، سمٿ ۽ مولي ڪوٽنگ جي عمل ۾ کوليو ڪيٿوڊ ٽيڪنالاجي کي اختيار ڪيو.1980 جي ڏهاڪي تائين، چين ۾ آئن پليٽنگ آخرڪار صنعتي ايپليڪيشن جي سطح تي پهچي چڪي هئي، ۽ ڪوٽنگ عمل جهڙوڪ ويڪيوم ملٽي آرڪ آئن پليٽنگ ۽ آرڪ ڊسچارج آئن پليٽنگ ڪاميابي سان ظاهر ٿي چڪا هئا.

ويڪيوم آئن پلاٽنگ جو سڄو ڪم ڪندڙ عمل هن ريت آهي: پهريون،پمپويڪيوم چيمبر، ۽ پوءِانتظار ڪرڻويڪيوم پريشر 4X10 ⁻ ³ Paيا بهتر، اهو ضروري آهي ته هاء وولٽيج پاور سپلائي کي ڳنڍڻ ۽ گهٽ وولٽيج ڊسچارج گيس جو گهٽ درجه حرارت پلازما علائقو ٺاهيو جيڪو سبسٽريٽ ۽ واپرائيٽر جي وچ ۾ آهي.5000V DC منفي هاء وولٽيج سان سبسٽرٽ اليڪٽرروڊ کي ڳنڍيو ته ڪيٿوڊ جي چمڪندڙ خارج ٿيڻ لاء.ناڪاري گيس آئنون ٺاهي رهيا آهن منفي چمڪ واري علائقي جي ويجهو.اهي ڪيٿوڊ اونداهي علائقي ۾ داخل ٿين ٿا ۽ بجليءَ جي ميدان سان تيز ٿين ٿا ۽ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي بمباري ڪن ٿا.اهو هڪ صفائي جي عمل آهي، ۽ پوء ڪوٽنگ جي عمل ۾ داخل.بمباري جي گرمي جي اثر جي ذريعي، ڪجهه پلاٽنگ مواد وانپ ٿيل آهن.پلازما جو علائقو پروٽانن ۾ داخل ٿئي ٿو، اليڪٽرانن ۽ انٽ گيس آئنز سان ٽڪرائجي ٿو، ۽ انهن جو هڪ ننڍڙو حصو آئنائيزڊ ٿي وڃي ٿو، اهي آئنائيزڊ آئن تيز توانائي سان فلم جي سطح تي بمباري ڪندا ۽ فلم جي معيار کي ڪنهن حد تائين بهتر ڪندا.

ويڪيوم آئن پلاٽنگ جو اصول هي آهي: ويڪيوم چيمبر ۾، گيس خارج ٿيڻ واري عمل کي استعمال ڪندي يا بخار ٿيل مواد جي آئنائيز ٿيل حصي کي استعمال ڪندي، بخار ٿيل مواد جي آئنز يا گيس آئنز جي بمباري هيٺ، هڪ ئي وقت انهن بخار ٿيل مادو يا انهن جي رد عمل کي ذيلي ذخيري تي جمع ڪريو. هڪ پتلي فلم حاصل ڪرڻ لاء.آئن ڪوٽنگمشينويڪيوم واپرائيشن، پلازما ٽيڪنالاجي ۽ گيس گلو ڊسچارج کي گڏ ڪري ٿو، جيڪو نه رڳو فلم جي معيار کي بهتر بڻائي ٿو، پر فلم جي ايپليڪيشن جي حد کي به وڌائي ٿو.هن عمل جي فائدن مضبوط diffraction، سٺي فلم adhesion، ۽ مختلف ڪوٽنگ مواد آهن.آئن پلاٽنگ جو اصول پهريون ڀيرو DM Mattox پاران پيش ڪيو ويو.آئن پلاٽنگ جا ڪيترائي قسم آهن.سڀ کان وڌيڪ عام قسم آهي evaporation حرارتي، جنهن ۾ مزاحمتي حرارتي، اليڪٽران بيم حرارتي، پلازما اليڪٽران بيم حرارتي، تيز فريڪئنسي انڊڪشن حرارتي ۽ ٻيا حرارتي طريقا شامل آهن.