అయాన్ ప్లేటింగ్ యంత్రం యొక్క పని సూత్రం ఏమిటి?

అయాన్ పూతయంత్రం 1960లలో డి.ఎం. మాటాక్స్ ప్రతిపాదించిన సిద్ధాంతం నుండి ఇది ఉద్భవించింది, మరియు ఆ సమయంలోనే సంబంధిత ప్రయోగాలు ప్రారంభమయ్యాయి; 1971 వరకు, ఛాంబర్స్ మరియు ఇతరులు ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ అయాన్ ప్లేటింగ్ సాంకేతికతను ప్రచురించారు; 1972లో బన్‌షా నివేదికలో రియాక్టివ్ ఎవాపరేషన్ ప్లేటింగ్ (ARE) సాంకేతికతను సూచించారు, ఆ సమయంలో TiC మరియు TiN వంటి అత్యంత గట్టి ఫిల్మ్ రకాలు ఉత్పత్తి చేయబడ్డాయి; అలాగే 1972లో, స్మిత్ మరియు మోలీ కోటింగ్ ప్రక్రియలో హాలో కాథోడ్ సాంకేతికతను అవలంబించారు. 1980ల నాటికి, చైనాలో అయాన్ ప్లేటింగ్ చివరకు పారిశ్రామిక అనువర్తన స్థాయికి చేరుకుంది, మరియు వాక్యూమ్ మల్టీ-ఆర్క్ అయాన్ ప్లేటింగ్ మరియు ఆర్క్-డిశ్చార్జ్ అయాన్ ప్లేటింగ్ వంటి కోటింగ్ ప్రక్రియలు వరుసగా వెలుగులోకి వచ్చాయి.

వాక్యూమ్ అయాన్ ప్లేటింగ్ యొక్క మొత్తం పని చేసే ప్రక్రియ ఈ క్రింది విధంగా ఉంటుంది: మొదట,పంపువాక్యూమ్ ఛాంబర్, ఆపైవేచి ఉండండివాక్యూమ్ పీడనం 4X10⁻³ Pa కులేదా ఇంకా మంచిదిసబ్‌స్ట్రేట్ మరియు ఎవాపరేటర్ మధ్య అధిక వోల్టేజ్ విద్యుత్ సరఫరాను అనుసంధానించి, తక్కువ వోల్టేజ్ డిశ్చార్జ్ గ్యాస్ యొక్క అల్ప ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మా ప్రాంతాన్ని నిర్మించడం అవసరం. కాథోడ్ యొక్క గ్లో డిశ్చార్జ్‌ను ఏర్పరచడానికి సబ్‌స్ట్రేట్ ఎలక్ట్రోడ్‌ను 5000V DC నెగటివ్ అధిక వోల్టేజ్‌తో అనుసంధానించండి. నెగటివ్ గ్లో ప్రాంతం సమీపంలో జడ వాయు అయాన్లు ఉత్పత్తి అవుతాయి. అవి కాథోడ్ యొక్క చీకటి ప్రాంతంలోకి ప్రవేశించి, విద్యుత్ క్షేత్రం ద్వారా వేగవంతం చేయబడి సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై ఢీకొంటాయి. ఇది ఒక శుభ్రపరిచే ప్రక్రియ, ఆ తర్వాత కోటింగ్ ప్రక్రియలోకి ప్రవేశిస్తాయి. ఈ ఢీకొనడం వల్ల కలిగే వేడి ప్రభావం ద్వారా, కొన్ని ప్లేటింగ్ పదార్థాలు ఆవిరైపోతాయి. ప్లాస్మా ప్రాంతంలోకి ప్రవేశించిన ప్రోటాన్లు, ఎలక్ట్రాన్లు మరియు జడ వాయు అయాన్లతో ఢీకొంటాయి, మరియు వాటిలో ఒక చిన్న భాగం అయనీకరణం చెందుతుంది. అధిక శక్తి కలిగిన ఈ అయనీకరణం చెందిన అయాన్లు ఫిల్మ్ ఉపరితలంపై ఢీకొట్టి, ఫిల్మ్ నాణ్యతను కొంతవరకు మెరుగుపరుస్తాయి.

వాక్యూమ్ అయాన్ ప్లేటింగ్ యొక్క సూత్రం ఏమిటంటే: వాక్యూమ్ ఛాంబర్‌లో, వాయు ఉత్సర్గ దృగ్విషయాన్ని లేదా బాష్పీభవనం చెందిన పదార్థం యొక్క అయనీకరణం చెందిన భాగాన్ని ఉపయోగించి, బాష్పీభవనం చెందిన పదార్థం యొక్క అయాన్లు లేదా వాయు అయాన్ల తాకిడి కింద, ఈ బాష్పీభవనం చెందిన పదార్థాలను లేదా వాటి రియాక్టెంట్లను సబ్‌స్ట్రేట్‌పై ఏకకాలంలో నిక్షేపించి ఒక పలుచని పొరను పొందడం. అయాన్ కోటింగ్యంత్రంవాక్యూమ్ ఎవాపరేషన్, ప్లాస్మా టెక్నాలజీ మరియు గ్యాస్ గ్లో డిశ్చార్జ్‌లను కలపడం వల్ల, ఫిల్మ్ నాణ్యత మెరుగుపడటమే కాకుండా, ఫిల్మ్ యొక్క అప్లికేషన్ పరిధి కూడా విస్తరిస్తుంది. ఈ ప్రక్రియ యొక్క ప్రయోజనాలు బలమైన డిఫ్రాక్షన్, మంచి ఫిల్మ్ అడెషన్ మరియు వివిధ రకాల కోటింగ్ మెటీరియల్స్. అయాన్ ప్లేటింగ్ సూత్రాన్ని మొదట DM మ్యాటాక్స్ ప్రతిపాదించారు. అయాన్ ప్లేటింగ్‌లో అనేక రకాలు ఉన్నాయి. అత్యంత సాధారణ రకం ఎవాపరేషన్ హీటింగ్, ఇందులో రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్, ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ హీటింగ్, ప్లాస్మా ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ హీటింగ్, హై-ఫ్రీక్వెన్సీ ఇండక్షన్ హీటింగ్ మరియు ఇతర హీటింగ్ పద్ధతులు ఉన్నాయి.