அயன் பிளேட்டிங் இயந்திரத்தின் செயல்படும் கொள்கை என்ன?

அயனி பூச்சுஇயந்திரம் 1960களில் டி.எம். மேட்டாக்ஸ் முன்மொழிந்த கோட்பாட்டிலிருந்து இது உருவானது, மேலும் அதற்கேற்ற சோதனைகள் அந்த நேரத்தில் தொடங்கின; 1971 வரை, சேம்பர்ஸ் மற்றும் பிறர் எலக்ட்ரான் கற்றை அயனி முலாம் பூசும் தொழில்நுட்பத்தை வெளியிட்டனர்; 1972ல் பன்ஷா அறிக்கையில் வினைபுரியும் ஆவியாதல் முலாம் பூசும் (ARE) தொழில்நுட்பம் சுட்டிக்காட்டப்பட்டது, அப்போது TiC மற்றும் TiN போன்ற மீக்கடினப் படல வகைகள் உருவாக்கப்பட்டன; மேலும் 1972ல், ஸ்மித் மற்றும் மோலி பூச்சுச் செயல்பாட்டில் உள்ளீடற்ற எதிர்மின்வாய் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தினர். 1980களுக்குள், சீனாவில் அயனி முலாம் பூசுதல் இறுதியாகத் தொழில்துறைப் பயன்பாட்டு நிலையை எட்டியது, மேலும் வெற்றிடப் பல்வில் அயனி முலாம் பூசுதல் மற்றும் வில்-வெளியேற்ற அயனி முலாம் பூசுதல் போன்ற பூச்சுச் செயல்முறைகள் அடுத்தடுத்துத் தோன்றின.

வெற்றிட அயனி முலாம் பூசுதலின் முழு வேலை செயல்முறையும் பின்வருமாறு: முதலில்,பம்ப்வெற்றிட அறை, பின்னர்சோதனைவெற்றிட அழுத்தத்தை 4X10 ⁻ ³ Pa க்குஅல்லது சிறந்ததுஉயர் மின்னழுத்த மின் விநியோகத்தை இணைத்து, அடி மூலக்கூறுக்கும் ஆவியாக்கிக்கும் இடையில் குறைந்த மின்னழுத்த வெளியேற்ற வாயுவின் குறைந்த வெப்பநிலை பிளாஸ்மா பகுதியை உருவாக்க வேண்டும். எதிர்மின்வாயின் ஒளிர்வு வெளியேற்றத்தை உருவாக்க, அடி மூலக்கூறு மின்முனையை 5000V DC எதிர்மறை உயர் மின்னழுத்தத்துடன் இணைக்கவும். எதிர்மறை ஒளிர்வுப் பகுதிக்கு அருகில் மந்த வாயு அயனிகள் உருவாகின்றன. அவை எதிர்மின்வாயின் இருண்ட பகுதிக்குள் நுழைந்து, மின்புலத்தால் முடுக்கப்பட்டு, அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் மோதுகின்றன. இது ஒரு சுத்தப்படுத்தும் செயல்முறையாகும், பின்னர் பூச்சு செயல்முறைக்குள் நுழைகிறது. மோதல் வெப்பமாக்கலின் விளைவால், சில பூச்சுப் பொருட்கள் ஆவியாக்கப்படுகின்றன. பிளாஸ்மா பகுதிக்குள் நுழையும் புரோட்டான்கள், எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் மந்த வாயு அயனிகளுடன் மோதுகின்றன, மேலும் அவற்றில் ஒரு சிறிய பகுதி அயனியாக்கம் அடைகிறது. அதிக ஆற்றல் கொண்ட இந்த அயனியாக்கம் அடைந்த அயனிகள், படலத்தின் மேற்பரப்பில் மோதி, படலத்தின் தரத்தை ஓரளவிற்கு மேம்படுத்துகின்றன.

வெற்றிட அயனி முலாம் பூசுதலின் கொள்கை இதுதான்: வெற்றிட அறையில், வாயு வெளியேற்ற நிகழ்வை அல்லது ஆவியாக்கப்பட்ட பொருளின் அயனியாக்கப்பட்ட பகுதியைப் பயன்படுத்தி, ஆவியாக்கப்பட்ட பொருள் அயனிகள் அல்லது வாயு அயனிகளின் தொடர் தாக்குதலின் கீழ், இந்த ஆவியாக்கப்பட்ட பொருட்கள் அல்லது அவற்றின் வினைபடு பொருள்களை ஒரே நேரத்தில் அடித்தளத்தின் மீது படியவைத்து ஒரு மெல்லிய படலத்தைப் பெறுவதே அயனிப் பூச்சு ஆகும்.இயந்திரம்வெற்றிட ஆவியாக்கம், பிளாஸ்மா தொழில்நுட்பம் மற்றும் வாயு ஒளிர்வு வெளியேற்றம் ஆகியவற்றை இது ஒருங்கிணைக்கிறது, இது பூச்சின் தரத்தை மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், பூச்சின் பயன்பாட்டு வரம்பையும் விரிவுபடுத்துகிறது. இந்த செயல்முறையின் நன்மைகள் வலுவான ஒளிச்சிதறல், நல்ல பூச்சு ஒட்டுதல் மற்றும் பல்வேறு பூச்சுப் பொருட்கள் ஆகும். அயனி முலாம் பூசுதலின் கொள்கை முதன்முதலில் டி.எம். மேட்டாக்ஸ் என்பவரால் முன்மொழியப்பட்டது. அயனி முலாம் பூசுதலில் பல வகைகள் உள்ளன. மிகவும் பொதுவான வகை ஆவியாக்க வெப்பமூட்டல் ஆகும், இதில் மின்தடை வெப்பமூட்டல், எலக்ட்ரான் கற்றை வெப்பமூட்டல், பிளாஸ்மா எலக்ட்ரான் கற்றை வெப்பமூட்டல், உயர் அதிர்வெண் தூண்டல் வெப்பமூட்டல் மற்றும் பிற வெப்பமூட்டும் முறைகள் அடங்கும்.