Wakuum örtük tehnologiýasy daşky gurşawa zyýansyzlygy, ýokary netijeliligi, ajaýyp plýonka deňligi we ýokary plýonka dykyzlygy bilen giňden tanalýar. Senagat ulanylyşlarynda wakuum örtük enjamlary, adatça, iki esasy kategoriýa bölünýär: Fiziki bug çökündisi (PVD) we Himiki bug çökündisi (CVD).
Fiziki bug çökündisi (PVD) ulgamlary bugarmak, püskürtmek we ion örtük tehnologiýalaryny öz içine alýar. Bugarmak örtük ulgamlary örtük materiallaryny bugartmak üçin dürli gyzdyrma usullaryny ulanýar, mysal üçin garşylykly gyzdyrma bugarmagy, elektron şöhlesi bugarmagy (E-şöhle), induksiýa gyzdyrma bugarmagy we ýaý bugarmagy. Püskürtme örtük ulgamlary bolsa plazma bilen induksiýa edilen nyşana atomynyň çykarylmagyna daýanýar we göni tok (DC) püskürtmesini, radio ýygylykly (RF) püskürtmesini, magnetron püskürtmesini we reaktiv püskürtme proseslerini öz içine alýar. Ion örtük ulgamlary plýonkanyň ýelmeşmesini we dykyzlygyny ýokarlandyrmak üçin plýonka we bugarmak ýa-da püskürtme mehanizmlerini birleşdirýär, şeýle hem katod ýaý ion örtügini, magnetron püskürtme ion örtügini we boş katod ion örtügini öz içine alýan adaty tehnologiýalar bilen.
Himiki bug çökündisi (HBÇ) ulgamlary gaz görnüşli prekursorlaryň himiki reaksiýalaryny öz içine alýar we substrat ýüzünde berk inçe plyonkalary emele getirýär. Umumy HBÇ tehnologiýalaryna atmosfera basyşly himiki bug çökündisi (APCVD), pes basyşly himiki bug çökündisi (LPCVD), plazma güýçlendirilen himiki bug çökündisi (PECVD), metal-organik himiki bug çökündisi (MOCVD) we atom gatlak çökündisi (ALD) girýär, olaryň her biri dürli material ulgamlaryna we proses talaplaryna laýyk gelýär.
Wakuum örtük tehnologiýalary awtoulag önümçiligi, elektronika we sarp ediş elektronikasy (smartfonlar ýaly), ýarymgeçirijiler, öý enjamlary, sanitariýa enjamlary, gündelik himiki önümler, bezeg bölekleri we çeýe plýonka materiallary ýaly dürli pudaklarda giňden ulanylýar.
-Bu makala çap edildiwakuum örtük enjamlaryny öndürijiZhenhua sowujy
Ýerleşdirilen wagty: 2026-njy ýylyň 2-nji apreli