Технологія вакуумного покриття широко визнана за свою екологічність, високу ефективність, чудову однорідність плівки та високу щільність плівки. У промисловому застосуванні обладнання для вакуумного покриття зазвичай класифікується на дві основні категорії: фізичне осадження з парової фази (PVD) та хімічне осадження з парової фази (CVD).
Системи фізичного осадження з парової фази (PVD) включають технології випаровування, розпилення та іонного покриття. Системи випаровування використовують різні методи нагрівання для випаровування покривних матеріалів, такі як резистивне нагрівання, електронно-променеве випаровування (E-beam), індукційне нагрівання та дугове випаровування. Системи напилення, з іншого боку, спираються на плазмово-індуковане викидання атомів мішені та включають процеси розпилення постійного струму (DC), радіочастотного (RF) розпилення, магнетронне розпилення та реактивне розпилення. Системи іонного покриття поєднують плазмові та випаровувальні або розпилюючі механізми для покращення адгезії та щільності плівки, з типовими технологіями, включаючи катодно-дугове іонне покриття, магнетронне розпилення та іонне покриття з порожнистим катодом.
Системи хімічного осадження з парової фази (CVD) включають хімічні реакції газоподібних прекурсорів для утворення твердих тонких плівок на поверхнях підкладок. Поширені технології CVD включають хімічне осадження з парової фази за атмосферного тиску (APCVD), хімічне осадження з парової фази низького тиску (LPCVD), плазмохімічне осадження з парової фази (PECVD), металоорганічне хімічне осадження з парової фази (MOCVD) та атомно-шарове осадження (ALD), кожне з яких підходить для різних систем матеріалів та вимог процесу.
Технології вакуумного покриття широко застосовуються в широкому спектрі галузей промисловості, включаючи автомобілебудування, електроніку та побутову електроніку (наприклад, смартфони), напівпровідники, побутову техніку, сантехніку, хімічну продукцію щоденного вжитку, декоративні компоненти та гнучкі плівкові матеріали.
-Цю статтю опублікуваввиробник обладнання для вакуумного покриттяВакуум Чженьхуа
Час публікації: 02 квітня 2026 р.